微区化学分析电子探针 X 射线显微分析 EPMA -材料成型检测技术-1765263457724.pptx

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《材料成型检测技术》微区化学分析

电子探针X射线显微分析（EPMA）

CONTENTS目录01仪器原理02分析应用范围03样品制备要求

仪器原理PARTONE

（一）仪器原理一、仪器原理电子束轰击样品产生特征X射线检测与定量分析三大核心机制电子与样品相互作用

分析应用范围PARTTWO

二、分析应用范围直接分析晶界微区的元素含量。金属材料研发分析断裂源附近的微区，若检测元素的富集。金属失效分析金属镀层（如汽车零件的铬镀层）检测中，EPMA能沿镀层厚度方向逐点分析，精准测量镀层的成分均匀性和厚度。产品质量控制

样品制备要求PARTTHREE

尺寸规格三、样品制备要求钛磁铁矿中Al、Mg、Ti、Fe元素的X射线面扫描图表面状态（一）样品基本要求导电性要求清洁度

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