微区化学分析原子探针断层成像 APT -材料成型检测技术-1765263774001.pptx

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《材料成型检测技术》微区化学分析原子探针断层成像（APT）

1CONTENTS目录01APT仪器原理02分析应用范围03样品制备要求

APT仪器原理PARTONE

（一）仪器原理一、APT仪器原理场蒸发启动离子信号捕捉三维坐标重构三大核心机制三大核心组件超高真空系统离子探测系统离子源系统

分析应用范围PARTTWO

二、分析应用范围高端装备材料的微量元素偏析分析。结构材料的纳米析出相表征。功能材料的界面成分分析。

样品制备要求PARTTHREE

（一）样品基本要求三、样品制备要求纳米颗粒的APT样品制备尺寸规格样品纯度代表性

（二）核心制备流程三、样品制备要求初步取样1×1×5mm精细加工聚焦离子束（FIB）技术清洁与检查SEM观察后

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