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公司籽晶片制造工职业健康操作规程

文件名称：公司籽晶片制造工职业健康操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于公司籽晶片制造工在日常工作中涉及籽晶片制造、加工、检测等环节的操作。规程旨在确保操作人员的人身安全和健康，预防职业危害，规范操作流程，提高籽晶片制造质量。操作人员应严格遵守本规程，确保生产安全。

二、操作前的准备

1.防护用具使用

操作人员在上岗前必须穿戴符合国家安全标准的防护用具，包括：

-个人防护装备（PPE）：佩戴安全帽、护目镜、防护手套、防尘口罩或面罩，根据作业环境选择适当的防护服。

-正确穿戴防护用具：确保护目镜、手套等紧密贴合皮肤，防护服覆盖全身暴露部位，防止有害物质侵入。

-定期检查和维护：定期检查防护用具的完好性，发现破损应及时更换或维修。

2.设备启机前的检查

在启动机器前，必须进行以下检查：

-检查设备外观：确认设备无损坏、松动或异常现象。

-检查电气系统：确保电源开关、线路无损坏，接地良好。

-检查液压系统：检查油液位、油质，确保液压系统无泄漏。

-检查机械部分：检查传动带、轴承、齿轮等是否正常，润滑系统是否到位。

-检查安全防护装置：确认紧急停止按钮、防护罩等安全装置处于正常状态。

3.作业区域准备

作业区域应满足以下要求：

-清洁：确保作业区域无杂物、无积水，保持清洁干燥。

-标识：设置明确的警示标识，提醒操作人员注意安全。

-通风：确保作业区域通风良好，降低有害气体浓度。

-温湿度：根据设备和工作性质，调节作业区域的温度和湿度，保证操作舒适。

-灯光：确保作业区域光线充足，便于操作和观察。

-防滑：对于可能产生滑倒的区域，铺设防滑材料或采取其他防滑措施。

操作人员应熟悉上述准备工作，并在操作前逐一完成，确保工作环境安全、设备正常运行，预防事故发生。

三、操作的先后顺序、方式

1.设备操作步骤流程

-启动设备：按照设备操作手册的顺序，依次开启电源、液压系统、传动系统等。

-设备预热：根据设备要求，进行预热处理，确保设备在最佳工作状态。

-加载工件：将籽晶片放置于设备夹具中，确保工件稳固。

-设备运行：启动设备，按照预设程序进行加工。

-监控过程：操作人员需实时监控设备运行状态，观察籽晶片加工过程。

-停止设备：加工完成后，按照操作手册的步骤，依次关闭设备各系统。

-清理设备：关闭设备后，进行清洁和维护，为下一次操作做好准备。

2.特殊工序操作规范

-高温处理：在高温处理工序中，操作人员需穿戴隔热手套和防护服，严格按照温度和时间要求进行操作。

-化学腐蚀：进行化学腐蚀时，操作人员需佩戴防腐蚀手套和护目镜，确保操作区域通风良好，防止有害气体吸入。

-检测：检测工序中，操作人员需使用专业的检测仪器，严格按照检测标准和程序进行操作。

3.异常工况处理方法

-设备故障：发现设备故障时，应立即停止操作，切断电源，防止事故扩大。

-紧急情况：遇到紧急情况，如火灾、爆炸等，应立即启动应急预案，迅速撤离现场，报警求助。

-异常气味：发现异常气味时，应立即停止操作，通风换气，检查气味来源，排除隐患。

-异常温度：若设备或环境温度异常，应立即停止操作，检查原因，采取降温或升温措施。

操作人员应严格按照上述步骤和规范进行操作，遇到异常情况时，应迅速采取相应措施，确保操作安全和籽晶片质量。

四、操作过程中机器设备的状态

1.正常工况参数

-设备温度：设备运行时，各部件温度应保持在设备制造商规定的正常范围内，避免过热或过冷。

-噪音水平：设备运行时，噪音应保持在规定的噪音标准内，超出标准应检查设备是否存在故障。

-电压电流：设备运行时，输入电压和电流应稳定在设备铭牌指定的范围内。

-润滑油温：润滑油温度应在设备运行手册规定的正常工作温度范围内，过热可能导致润滑效果下降。

-油压：液压系统运行时，油压应稳定在设定的工作压力范围内。

-传动带张紧度：传动带张紧度应适当，过松或过紧都可能影响设备正常运行。

2.典型故障现象

-异常噪音：设备运行时发出不正常的噪音，可能是轴承磨损、齿轮啮合不良或传动带松动等。

-温度过高：设备运行时温度异常升高，可能是冷却系统故障、润滑不良或电气系统故障。

-润滑油变质：润滑油颜色变暗、气味异常或粘度降低，可能是润滑油老化或污染。

-油压波动：液压系统油压不稳定，可能是油路堵塞、阀件故障或泵体磨损。

-传动带打滑：传动带打滑可能是张紧度不当或传动带磨损严重。

3.状态监测的操作要求

-定期检查：操作人员应定期对设备进行检查，包括外观、温度