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基于MEMS技术的新型氧化物半导体微结构气体传感器：设计、性能与应用

一、引言

1.1研究背景与意义

随着现代工业的迅速发展和人们生活水平的不断提高，对环境质量和安全的要求也日益严格。气体传感器作为检测和监测各类气体的关键设备，在环境监测、工业安全、医疗诊断、智能家居等众多领域发挥着至关重要的作用。例如，在工业生产中，需要实时监测有害气体的浓度，以保障工人的健康和生产安全；在环境监测中，准确检测大气中的污染物浓度，对于评估空气质量和制定环保政策具有重要意义。

微电子机械系统（MEMS）技术作为一种融合了微电子技术、微机械加工技术、材料科学和传感器技术的多学科交叉技术，为气体传感器的发展带来了