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公司硅料腐蚀工岗位工艺作业操作规程

文件名称：公司硅料腐蚀工岗位工艺作业操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于公司硅料腐蚀工岗位的工艺作业操作。为确保操作人员的人身安全、设备安全及产品质量，特制定本规程。操作人员必须严格遵守国家有关安全生产法律法规和公司各项规章制度，确保各项操作符合工艺要求和安全规范。

二、操作前的准备

1.防护用品穿戴规范：

a.操作人员必须佩戴符合国家安全标准的防护眼镜，以防腐蚀性化学品溅入眼中。

b.必须穿戴防静电工作服，避免静电对硅料造成损害。

c.配戴防化学品手套和防化学品围裙，确保皮肤不受腐蚀性化学品侵害。

d.进入腐蚀区前，需佩戴防尘口罩，防止吸入有害粉尘。

2.设备状态检查要点：

a.检查腐蚀设备是否正常运行，各部件是否完好无损。

b.确认设备冷却系统是否有效，冷却液位是否充足。

c.检查腐蚀液体的浓度、温度是否符合工艺要求。

d.确认腐蚀槽、管道等设备无泄漏，密封良好。

3.作业环境基本要求：

a.工作区域应保持整洁，无杂物，通风良好。

b.确保腐蚀区域地面防滑，无积水。

c.照明设施齐全，亮度符合操作要求。

d.设置警示标志，明确危险区域和注意事项。

e.定期对作业环境进行清洁和消毒，防止交叉污染。

三、操作的先后顺序、方式

1.设备操作流程：

a.启动前，检查设备是否处于关闭状态，确认安全。

b.打开设备电源，启动腐蚀系统，观察设备运行状态。

c.按照工艺要求，调整腐蚀液的浓度、温度和流量。

d.将硅料放入腐蚀槽中，启动腐蚀程序，监控腐蚀过程。

e.腐蚀完成后，关闭腐蚀系统，停止设备运行。

f.清理腐蚀槽，更换腐蚀液，准备下一次作业。

2.作业工序步骤：

a.检查硅料表面质量，确保无杂质。

b.根据工艺要求，将硅料分类放置。

c.按照腐蚀时间表，控制腐蚀过程。

d.定期检查硅料腐蚀情况，调整腐蚀参数。

e.腐蚀完成后，取出硅料，进行清洗和干燥。

3.特定操作技术规范：

a.腐蚀过程中，严格控制腐蚀液的温度，避免过热或过冷。

b.腐蚀液浓度需精确控制，避免对硅料造成过度腐蚀。

c.作业过程中，保持操作环境整洁，防止污染。

4.异常情况处理程序：

a.发生设备故障，立即停止操作，切断电源。

b.如遇腐蚀液泄漏，立即关闭腐蚀系统，隔离泄漏区域，清理泄漏物。

c.如操作人员感到不适，立即撤离现场，寻求医疗帮助。

d.记录异常情况，分析原因，采取预防措施。

四、操作过程中机器设备的状态

1.正常状态指标：

a.设备运行平稳，无异常振动或噪音。

b.各仪表显示正常，腐蚀液温度、浓度、流量等参数符合设定值。

c.冷却系统工作正常，冷却液温度适宜，无泄漏现象。

d.电气系统稳定，无跳闸、短路等异常情况。

e.传动系统润滑良好，无过热或磨损迹象。

2.常见故障现象：

a.设备振动加剧，可能因轴承磨损或安装不当导致。

b.设备噪音增大，可能因内部零件松动或损坏。

c.腐蚀液温度异常，可能因冷却系统故障或温度控制不当。

d.仪表显示异常，可能因传感器损坏或线路故障。

e.电气系统跳闸，可能因过载、短路或保护装置误动作。

3.状态监控方法：

a.定期检查设备外观，观察是否有磨损、损坏或泄漏迹象。

b.检查仪表读数，确保所有参数在正常范围内。

c.监听设备运行声音，及时发现异常振动或噪音。

d.观察冷却系统，检查冷却液温度和流量。

e.定期对电气系统进行检查，确保线路和设备无损坏。

f.使用维护记录，跟踪设备运行状态和故障维修历史。

五、操作过程中的测试和调整

1.设备运行时的测试要点：

a.定期检查腐蚀液的pH值和电导率，确保腐蚀液性质稳定。

b.监测腐蚀槽内硅料的腐蚀速度，确保符合工艺要求。

c.检查设备冷却系统的温度和压力，确保冷却效果良好。

d.检查设备传动部件的运行状态，防止因磨损导致性能下降。

e.定期进行电气系统的绝缘电阻测试，确保设备安全运行。

2.调整方法：

a.根据腐蚀液的pH值和电导率调整，必要时更换或补充腐蚀液。

b.若腐蚀速度不符合要求，调整腐蚀时间或浓度。

c.发现冷却系统问题，调整冷却液循环或修复冷却设备。

d.对于传动部件的磨损，及时更换润滑油脂或更换磨损部件。

e.针对电气系统问题，进行相应的线路修复或更换损坏元件。

3.不同工况下的处理方案：

a.当设备出现振动或噪音时，检查并紧固松动的部件，必要时更换轴承。

b.若腐蚀液温度过高或过低，调整冷却系统或更换腐蚀液。

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