磁控溅射法制备钛酸锶钡薄膜及其性能的多维度探究.docx

磁控溅射法制备钛酸锶钡薄膜及其性能的多维度探究

一、引言

1.1研究背景与意义

在材料科学领域，随着科技的迅猛发展，新型功能材料不断涌现，钛酸锶钡（BariumStrontiumTitanate，简称BST）薄膜作为一种极具潜力的材料，受到了广泛关注。钛酸锶钡是由钛酸钡（BaTiO?）和钛酸锶（SrTiO?）形成的固溶体，其化学式为Ba?Sr???TiO?（0≤x≤1）。这种材料继承了钛酸钡和钛酸锶的优良特性，展现出独特的物理化学性质。

从结构上看，钛酸锶钡具有立方晶系的钙钛矿结构，这种结构赋予了它许多优异的性能。在电学方面，BST薄膜具有高介电常数，其介电常数可在较大范围内变化