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三星半导体设备维修员笔试题

一、单项选择题（每题2分，共10题）

1.半导体设备中常用的真空泵是（）

A.水环泵B.旋片泵C.罗茨泵

答案：B

解析：旋片泵在半导体设备中较为常用，它能达到较高真空度且结构相对简单，水环泵真空度有限，罗茨泵常与其他泵组合使用。

2.以下哪种工具不用于设备电路检测（）

A.万用表B.示波器C.钳子

答案：C

解析：万用表可测电压、电流等电学参数，示波器能观察电信号波形，钳子主要用于夹持等机械操作，不用于电路检测。

3.半导体设备中常用的气体是（）

A.氧气B.氮气C.氢气

答案：B

解析：氮气性质稳定，在半导体设备中常作为保护气，氧气、氢气在特定工艺有应用但不如氮气常用。

4.设备电路中熔断器的作用是（）

A.过载保护B.短路保护C.过压保护

答案：B

解析：熔断器在电路发生短路时，熔体熔断切断电路，主要用于短路保护。

5.设备接地的主要目的是（）

A.防止触电B.增强信号C.美观

答案：A

解析：设备接地可将漏电导入大地，防止人员触电，与增强信号和美观无关。

6.以下哪种设备用于光刻工艺（）

A.光刻机B.刻蚀机C.镀膜机

答案：A

解析：光刻机专门用于光刻工艺，将光刻胶曝光形成图案，刻蚀机用于刻蚀，镀膜机用于镀膜。

7.设备维修中“5S”不包括（）

A.整理B.清扫C.服务

答案：C

解析：“5S”指整理、整顿、清扫、清洁、素养，不包括服务。

8.半导体设备中的传感器一般输出（）信号

A.数字B.模拟C.都有可能

答案：C

解析：半导体设备中的传感器根据类型不同，输出信号可能是数字信号也可能是模拟信号。

9.以下哪种材料可作为设备绝缘材料（）

A.铜B.橡胶C.铝

答案：B

解析：橡胶是良好的绝缘材料，铜和铝是金属，是导体。

10.设备电机的转速由（）决定

A.电压B.电流C.频率

答案：C

解析：对于交流电机，转速主要由电源频率决定，电压、电流主要影响电机的转矩等。

二、多项选择题（每题2分，共10题）

1.半导体设备维修常用的工具包括（）

A.螺丝刀B.扳手C.电烙铁

答案：ABC

解析：螺丝刀用于拆卸和安装螺丝，扳手用于拆卸和安装螺母等，电烙铁用于焊接电路元件，都是维修常用工具。

2.半导体设备中可能用到的气体有（）

A.氦气B.氩气C.氟气

答案：ABC

解析：氦气、氩气常用于一些工艺的保护或氛围营造，氟气在特定的刻蚀等工艺中会用到。

3.设备电路故障可能的原因有（）

A.元件损坏B.线路短路C.接触不良

答案：ABC

解析：元件老化、损坏，线路短路以及插头等接触不良都可能导致设备电路故障。

4.设备维修中安全注意事项包括（）

A.断电操作B.佩戴防护用品C.了解设备危险部位

答案：ABC

解析：断电操作防止触电，佩戴防护用品保护维修人员身体，了解危险部位可避免意外发生。

5.半导体设备常用的传动方式有（）

A.皮带传动B.链条传动C.齿轮传动

答案：ABC

解析：皮带传动平稳、能缓冲，链条传动可远距离传动，齿轮传动准确可靠，都在半导体设备中常用。

6.以下属于设备维护保养内容的有（）

A.清洁B.润滑C.紧固

答案：ABC

解析：清洁设备可防止灰尘等影响性能，润滑减少部件磨损，紧固防止零件松动。

7.设备的电气控制系统包括（）

A.控制器B.执行元件C.传感器

答案：ABC

解析：控制器发出控制指令，执行元件执行动作，传感器反馈设备状态，共同构成电气控制系统。

8.半导体设备中的真空泵类型有（）

A.分子泵B.涡轮泵C.扩散泵

答案：ABC

解析：分子泵、涡轮泵、扩散泵都能实现高真空度，在半导体设备的真空系统中都有应用。

9.设备维修记录应包含（）

A.维修时间B.故障现象C.维修措施

答案：ABC

解析：维修时间便于追溯，故障现象是维修基础，维修措施为后续维护提供参考。

10.设备的机械结构常见故障有（）

A.零件磨损B.变形C.断裂

答案：ABC

解析：设备长期运行，零件可能磨损、因受力变形甚至断裂。

三、判断题（每题2分，共10题）

1.维修设备时可以带电操作。（）

答案：×

解析：带电操作非常危险，易引发触电事故，维修设备