CN115948729A-适用于特殊衬底上的高结合力及低内应力的化学镀铜液-公开.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN115948729A

(43)申请公布日2023.04.11

(21)申请号202211696108.X

(22)申请日2022.12.28

(71)申请人深圳市富利特科技有限公司

地址518126广东省深圳市宝安区西乡街

道桃源社区航城工业区河西黄岗岭工

业园B栋303

(72)发明人金旭升王志成卞力

(74)专利代理机构广东中禾共赢知识产权代理

事务所(普通合伙)44699

专利代理师陈欢

(51)Int.Cl.

C23C18/40(2006.01)

C23C18/18(2006.01)

权利要求书2页说明书4页

(54)发明名称

适用于特殊衬底上的高结合力及低内应力

的化学镀铜液

(57)摘要

本发明公开了适用于特殊衬底上的高结合

力及低内应力的化学镀铜液，所述化学镀铜液的

制备步骤如下：在去离子水中按照配比将20g/L

的第一络合剂酒石酸钾铵和35g/L的第二络合剂

乙二胺四乙酸进行搅拌溶解，边搅拌边加入5‑

12g/L的铜盐，溶解后将pH值调整至11.5‑13，缓

慢升温至50℃，加入稳定剂亚铁氰化钾4mg/L和

50mg/L的表面活性剂聚乙二醇进行搅拌溶解，加

入还原剂乙醛酸3g/L以及固化剂柔性环氧树脂

1g/L进行均匀的搅拌，得到化学镀铜液。

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CN115948729A权利要求书1/2页

1.适用于特殊衬底上的高结合力及低内应力的化学镀铜液，其特征在于，所述化学镀

铜液的制备步骤如下：在去离子水中按照配比将20g/L的第一络合剂酒石酸钾铵和35g/L的

第二络合剂乙二胺四乙酸进行搅拌溶解，边搅拌边加入5‑12g/L的铜盐，溶解后将pH值调整

至11.5‑13，缓慢升温至50℃，加入稳定剂亚铁氰化钾4mg/L和50mg/L的表面活性剂聚乙二

醇进行搅拌溶解，加入还原剂乙醛酸3g/L以及固化剂柔性环氧树脂1g/L进行均匀的搅拌，

得到化学镀铜液，在对衬底进行镀铜时，在溶液中加入酚酞粉末，能够使铜镀层沉积速率和

晶体成核的速度加快，形成的铜面网格结构致密，铜面平整，无裂纹。

2.根据权利要求1所述的适用于特殊衬底上的高结合力及低内应力的化学镀铜液，其

特征在于：所述化学镀铜液包括以下化学成分：铜盐、络合剂、稳定剂、还原剂、表面活性剂

以及去离子水，化学镀铜液采用pH调节剂调整pH值为11.5‑13，所述络合剂分为第一络合剂

和第二络合剂，第一络合剂为20g/L，第二络合剂为35g/L，所述第一络合剂为酒石酸钾铵，

第二络合剂为乙二胺四乙酸，稳定剂为亚铁氰化钾4mg/L，表面活性剂为聚乙二醇50mg/L，

还原剂乙醛酸3g/L，固化剂1g/L。

3.根据权利要求1所述的适用于特殊衬底上的高结合力及低内应力的化学镀铜液，其

特征在于：所述化学镀铜液的制备方法包括以下步骤：按化学镀铜液的总质量1L计，用去离

子水按照配比将第一络合剂和第二络合剂进行搅拌溶解，边搅拌便加入5‑12g的铜盐，溶解

后将pH值调整至11.5‑13，温度为60℃，加入稳定剂和表面活性剂进行搅拌，搅拌至无颗粒

状，加入还原剂以及固化剂柔性环氧树脂进行均匀的搅拌，得到化学镀铜液。

4.根据权利要求1所述的适用于特殊衬底上的高结合力及低内应力的化学镀铜液，其

特征在于：所述化学镀铜溶液中的质量浓度是指1L化学镀铜溶液中各化学成分的用量，第

一络合剂的质量浓度为20g/L,是指1L的化学镀铜溶液中，第一络合剂的质量为20g，再对衬

底进行化学镀铜时需要对衬底进行水洗一除油一水洗一粗化一水洗一敏化