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硅料腐蚀工设备操作规程

文件名称：硅料腐蚀工设备操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于硅料腐蚀工设备操作。为确保操作人员安全和设备正常运行，要求所有操作人员必须严格遵守本规程。操作前，须充分了解设备性能、操作步骤及安全注意事项，经培训考核合格后方可独立操作。操作过程中，应遵循“安全第一，预防为主”的原则，严格执行各项安全操作规程，确保人身和设备安全。

二、操作前的准备

1.个人防护：操作人员必须穿戴符合要求的防护服、防护手套、防护眼镜和防尘口罩，必要时佩戴耳塞和防毒面具。长发需束起，避免操作过程中发生意外。

2.设备检查：

a.检查设备外观是否完好，无破损、裂纹等异常情况。

b.检查设备各部件连接是否牢固，紧固件无松动。

c.检查设备电气线路是否完好，无裸露、破损现象。

d.检查腐蚀液位是否在规定范围内，不足时及时补充。

3.环境检查：

a.检查操作区域是否有易燃、易爆物品，确保无安全隐患。

b.检查通风系统是否正常，确保操作过程中有害气体能够及时排出。

c.检查地面是否平整，无积水、油污等，防止滑倒。

d.检查应急设备（如灭火器、急救箱等）是否在位且有效。

4.腐蚀液准备：

a.根据工艺要求，准确配制腐蚀液，并搅拌均匀。

b.检查腐蚀液浓度是否符合规定，如有偏差，及时调整。

c.将腐蚀液倒入设备指定容器，确保液面在规定范围内。

5.设备状态确认：

a.启动设备，检查设备运行是否正常，各部件是否协调。

b.检查设备报警系统是否灵敏，确保在异常情况下能够及时报警。

c.检查设备冷却系统是否正常，确保设备在运行过程中温度适宜。

6.操作培训：操作人员应熟悉设备操作流程、安全注意事项及应急预案，必要时进行实际操作培训。

7.工作票制度：操作前需填写工作票，明确操作人员、设备、时间、操作内容等信息，经审批后方可进行操作。

三、操作的先后顺序、方式

1.操作顺序：

a.首先进行个人防护，穿戴好防护装备。

b.检查设备状态和环境安全，确认无误后填写工作票。

c.打开设备电源，启动设备进行空载运行，观察设备运行是否正常。

d.将硅料放置在设备指定位置，调整至合适的高度。

e.按照工艺要求，将腐蚀液倒入设备指定容器，调整液位至规定范围。

f.启动腐蚀程序，监控设备运行状态，确保操作过程稳定。

g.操作完成后，关闭腐蚀程序，停止设备运行。

h.清理设备，将硅料取出，放入指定的回收容器。

i.倒空腐蚀液，进行废液处理，确保符合环保要求。

j.关闭设备电源，整理现场，清理个人防护装备。

2.作业方式：

a.操作过程中，严格按照操作规程进行，不得擅自更改程序或操作步骤。

b.操作时注意力集中，密切观察设备运行状态，发现异常情况立即停止操作。

c.使用设备时，遵循“先开后关”的原则，确保设备运行平稳。

d.操作中如需离开岗位，应确保设备处于停止状态，并通知相关人员。

3.异常处置：

a.设备运行异常时，立即停止操作，切断电源，防止事故扩大。

b.检查设备故障原因，根据故障情况采取相应措施。

c.如无法自行处理，立即上报上级领导，等待专业人员进行维修。

d.在设备维修期间，确保操作区域安全，禁止无关人员进入。

e.故障排除后，重新进行设备检查，确认设备恢复正常后方可继续操作。

4.记录与报告：

a.操作过程中，详细记录操作时间、设备状态、异常情况及处理措施。

b.操作结束后，将记录报告提交给相关负责人审核。

c.如发生安全事故，立即上报，并按照公司要求进行事故调查和处理。

四、操作过程中设备的状态

1.正常状态指标：

a.设备运行平稳，无异常振动和噪音。

b.设备各部件运行温度在规定范围内，无过热现象。

c.腐蚀液液位稳定，无泄漏或溢出。

d.电气系统无短路、过载等异常现象。

e.通风系统运行正常，无异味或有害气体积聚。

f.设备报警系统处于待命状态，无误报或漏报。

2.异常现象识别：

a.设备振动加剧，可能存在机械部件松动或损坏。

b.设备噪音异常，可能存在轴承磨损或齿轮啮合不良。

c.设备温度异常升高，可能存在过载或冷却系统故障。

d.腐蚀液液位异常，可能存在泄漏或设备故障。

e.电气系统出现火花或烟雾，可能存在短路或过载。

f.通风系统出现异味或有害气体，可能存在泄漏或通风不良。

3.状态监测方法：

a.视觉检查：定期观察设备外观，检查是否有异常磨损、裂纹或泄漏。

b.声音监测：通过听觉判断设备运行声音是否正常，是否有异常噪音。

c.温度监测：使用温度计测