电子级四氯化铪市场空间不断增大 我国产能规模还在扩大.doc

电子级四氯化铪市场空间不断增大我国产能规模还在扩大

电子级四氯化铪，是指纯度达到99.95%及以上的高纯度四氯化铪。

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四氯化铪，分子式HfCl4，分子量320.302，外观为白色结晶粉末状，有腐蚀性，会灼伤眼睛、皮肤，对呼吸系统有刺激性，熔点320℃，可升华，易溶于甲醇、丙酮等有机溶剂，遇水发生反应释放出有毒气体，暴露在空气中易吸湿分解，需密封存储。

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根据新思界产业研究中心发布的《2025年中国电子级四氯化铪市场专项调研及企业“十五五规划”建议报告》显示，电子级四氯化铪主要应用在半导体产业中，用作半导体前驱体材料，采用原子层沉积法（ALD）、化学气相沉积法（CVD）等工艺，沉