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集成电路制造工艺 课件 5.5 离子注入机的组成及工作原理.pptx

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    集成电路制造工艺

    --离子注入机的组成及工作原理;;;§5.5离子注入机的组成及工作原理;产生所需要的杂质离子和其他各种离子

    放电管：通过放电管使杂质离化产生各种离子

    吸极：利用几十千伏负高压把放电管中的正离子吸引出来;2.磁分析器：;利用强电场使离子加速获得足够的能量能够穿跃整个系统并注入靶中;原理：利用带电粒子在电场中运动产生偏转的原理。

    防止中性原子在硅片中产生热斑;在机械扫描中，离子束固定，硅片机械移动。

    此法一般用于大电流注入机中，因为静电很难使

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