高倍细分插值电路的误差分析及抑制方法研究.pdfVIP

总第374期舰船电工程Vol.45No.8

2025年第8期ShipElectronicEngineering129

高倍细分插值电路的误差分析及抑制方法研究

名1，22,4

邰鹏张敏娟

钟毓杰12金丽，2解琨阳2.3李孟委2

（1.中北大学仪器与电子学院030051）（2.中北大学前沿交叉科学研究院030051)

太原太原

（3.中北大学创新与创业学院030051）（4.中北大学信息与通信工程学院030051)

太原太原

摘要

要提高微位移传感分辨率的有效方法是对信号进行电学细分。在基于光栅和磁阻检测方式的微机电系统

(MEMS)传感器中，受光栅或磁阻（TMR)结构加工和装配误差的影响，输出的检测信号存在相位误差、幅值误差和偏置误

差，这些误差将影响细分插值倍数的大小和输出数字信号的稳定性，进而影响传感器的分辨率和精度。因此，论文采用反正

切细分法将两路正余弦信号线性化并实现高倍细分。基于Simulink搭建反正切算法模型，分析了两路正余弦信号的相位、

幅值、偏置误差对反正切算法的影响。针对三类误差，设计了信号调理电路及细分插值电路来实现在减小三类误差的同时

实现高倍细分。实验结果表明，此电路能实时减小信号的相位、幅值、偏置误差，最终可实现约9765倍的细分倍数。

关键词微机电系统（MEMS）；微位移检测技术；分辨率；细分插值电路；误差分析

中图分类号TN911.7D0I:10.3969/j.issn.1672-9730.2025.08.025

ErrorAnalysisandSuppressionMethodofHighMultiple

SubdivisionInterpolationCircuit

TAIPeng.-2ZHONGYujiel.2JINLil.2XIEKunyang*sZHANGMinjuan?4LIMengweil.2

(1.SchoolofInstrumentationandElectronics,NorthUniversityofChina,Taiyuan030051)

(2.AcademyforAdvancedInterdisciplinaryResearch,NorthUniversityofChina,Taiyuan030051)

(3.SchoolofInnovationandEntrepreneurship,NorthUniversityofChina,Taiyuan030051)

(4.SchoolofInformationandCommunicationEngineering,NorthUniversityofChina,Taiyuan030051)

AbstractAneffectivemethodtoimprovetheresolutionofmicrodisplacementsensingistosubdiv