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公司光刻工岗位标准化操作规程

文件名称：公司光刻工岗位标准化操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于公司光刻工岗位的日常操作。规程旨在确保操作人员安全、高效地完成光刻工作，降低生产过程中的安全风险。操作人员必须严格遵守本规程，遵循相关安全规范和操作流程，确保生产安全和产品质量。规程内容涵盖光刻设备操作、物料管理、个人防护等方面，适用于所有从事光刻工作的员工。

二、操作前的准备

1.防护用品穿戴规范：

操作人员进入光刻车间前，必须穿戴符合国家标准的安全帽、防尘口罩、防护眼镜、防静电工作服、防静电手套和防静电鞋。长发需束起，避免接触设备表面，防止静电干扰。进入车间前，需进行全身静电消除处理。

2.设备状态检查要点：

a.检查设备电源线、数据线是否完好，无破损或裸露。

b.检查设备冷却系统是否正常，冷却液液位是否在规定范围内。

c.检查设备光学系统是否有污渍，镜头是否清洁。

d.检查设备控制系统是否响应正常，软件版本是否更新至最新。

e.检查设备周围环境是否整洁，无杂物。

3.作业环境基本要求：

a.光刻车间温度控制在18-25℃，相对湿度控制在40%-70%。

b.确保车间内通风良好，无异味。

c.工作台面清洁，无油污、水渍等。

d.确保车间内光线充足，无强光直射设备。

e.定期检查车间内消防设施，确保其完好可用。

操作人员在进行光刻操作前，必须完成以上准备工作，确保操作安全、设备稳定运行。

三、操作的先后顺序、方式

1.设备操作流程：

a.启动设备前，确认所有防护措施到位，操作人员穿戴好防护用品。

b.打开设备电源，启动设备预热至正常工作温度。

c.检查设备自检程序，确保设备无故障。

d.根据工艺要求，设置光刻参数，如曝光时间、光强等。

e.安装光刻掩模，确保其位置准确，无偏移。

f.启动曝光程序，开始光刻过程。

g.光刻完成后，关闭设备电源，取出掩模。

h.对光刻结果进行检查，确认质量符合要求。

2.特定操作技术规范：

a.曝光过程中，操作人员不得触碰设备，避免影响曝光效果。

b.曝光结束后，立即关闭设备电源，防止静电损坏。

c.光刻掩模安装时，需轻拿轻放，避免划伤或污染。

3.异常情况处理程序：

a.设备故障：立即停止操作，断开电源，报告上级，等待维修。

b.光刻掩模损坏：立即更换新掩模，重新进行光刻。

c.曝光异常：检查设备状态，调整参数，必要时重新曝光。

d.环境异常：如温度、湿度超出范围，立即报告并采取措施调整。

e.人员伤害：立即停止操作，进行急救，报告安全部门。

操作人员应严格按照上述流程和规范进行操作，遇到异常情况应立即采取相应措施，确保操作安全。

四、操作过程中机器设备的状态

1.正常状态指标：

a.设备运行平稳，无异常振动或噪音。

b.设备冷却系统工作正常，温度稳定在设定范围内。

c.光源亮度稳定，无闪烁现象。

d.曝光系统响应迅速，曝光时间准确。

e.设备控制系统显示正常，无错误信息。

f.设备运行过程中，各项参数显示稳定，无异常波动。

2.常见故障现象：

a.设备出现振动或噪音过大，可能是机械部件松动或损坏。

b.冷却系统故障，可能导致设备过热。

c.光源亮度不稳定或闪烁，可能是光源老化或电路问题。

d.曝光时间不准确，可能是曝光控制系统故障或掩模安装不当。

e.设备控制系统显示异常，可能是软件错误或硬件故障。

3.状态监控方法：

a.通过设备监控屏幕实时观察设备运行状态和各项参数。

b.定期进行设备维护，检查机械部件和电气系统。

c.使用专业检测工具，对光源、曝光系统等关键部件进行定期检测。

d.记录设备运行日志，分析设备运行数据，及时发现潜在问题。

e.操作人员应具备一定的设备知识，能够识别并处理常见故障。

操作人员应熟悉设备正常状态和常见故障现象，通过上述监控方法确保设备在良好状态下运行，及时发现并处理潜在问题，保障生产安全和产品质量。

五、操作过程中的测试和调整

1.设备运行测试要点：

a.检查设备启动自检是否通过，确保设备硬件和软件无异常。

b.观察设备运行时是否有异常振动或噪音。

c.测量设备温度，确保在正常工作范围内。

d.检查光源亮度是否稳定，无闪烁。

e.监控曝光时间是否准确，是否符合工艺要求。

f.评估设备控制系统是否响应灵敏，显示信息准确。

2.调整方法：

a.根据测试结果，对设备进行必要的调整，如调整冷却系统，更换光源，校准曝光时间等。

b.如果设备运行参数超出正常范围，需立即停止操作，进行故障排查