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测控技术

智能感知与仪器仪表;2018年第37卷第6期•55*

硅微谐振式加速度计相位控制环路优化研究

李文祥1$黄丽斌1$王淞立2

(1.东南大学仪器科学与工程学院，江苏南京210096;

2.航空工业西安飞行自动控制研究所惯性技术航空科技重点实验室，陕西西安710065)

摘要:硅微谐振式加速度计（MSRA)凭借其潜在的高精度特点成为微加速度传感器领域的重点研究方

向之一。相位环路的控制精度直接决定了MSRA的测量精度。在对MSRA工作机理进行简要分析的

基础上，着重研究了现实验室加速度计样机的相位控制环路，分析了其相位误差的来源，并在原有环路

滤波器的基础上增加了一种带参考电压的PI校正控制环节。实验结果表明，增加2校正环节后，组成

的四阶二型锁相环路可以使差分频率输出与温度线性拟合的相关系数从0.96291提高至0.98863，在

±20!量程围内，非线性度从430ppm降低至154PPm，硅微谐振式加速度计的零偏稳定性在常温下达

到8.64!!。

关键词：娃微谐振式加速度计；环路滤波器;相位误差；零偏稳定性

中图分类号:TP24文献标识码:A文章编号！1000-8829(2018)06-0055-05

doi:10.19708/j.ckjs.2018.06.012

StudyonOptimizationofPhaseControlLoopforMicromachinedSilicon

ResonantAccelerometer

LIWen-xiang1,HUANGLi-lain1,WANGSong-li^

(1.SchoolofInstrumentScienceandEngineering,SoutheastUniversity,Nanjing210096,China;

2.AeronauticKeyLabinInertiaTechnology,AVICXi’anFlightAutomaticControlResearchInstitute,Xi’an710065,China)

Abstract:Micromachinedsiliconresonantaccelerometer(MSRA)withitspotentialhighaccuracyhasbecome

oneoftliekeyresearchdirectionsinthefieldofmicraccelerometers.Thecontrolprecisionoftlie

rectlydeterminesthemeasurementaccuracyofMSRA.Basedonthebriefanalysisoftlieworl^ingmeclianismof

MSRA,thephasecontrollpoftheaccelerometerinthelaboratorywasstudiedemphatically,and

thephaseerrorwasanalyzed,andonthebasisoft!ieoriginallpfilter,aPIcorrectioncontrollpwit!irefer­

encevoltagewasadded.T