用于太阳能硅片加工的金刚线切割液.docVIP

配方用于太阳能硅片加工的金刚线切割液

原料配比

原料

配比（质量份）

1#

2#

3#

润湿剂

支链脂肪醇聚氧乙烯醚

40.0

15

10

支链脂肪醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚

5.0

10

25

聚乙二醇

聚乙二醇400

1.0

5

8

聚乙二醇3000

6.0

1

1

分散剂

聚羧酸铵盐

0.5

1

2

螯合剂

乙二胺四乙酸

0.1

0.1

0.1

防锈剂

油酸三乙醇胺

0.1

0.1

0.1

杀菌剂

异噻唑啉酮

0.5

0.5

0.5

消泡剂

四甲基一二醇一癸炔

4.0

4

6

pH值稳定剂

胺万达

0.1

0.1

0.1

去离子水

42.7

63.2

47.2

制备方法先将聚乙二醇3000溶解为浓度为50%的溶液，然后在搅拌釜中加入去离子水，启动搅拌，依次间隔20min向去离子水中随机加入称量好的原料，待原料均投入到搅拌釜中后，继续搅拌1h，经50μm层叠式滤芯过滤，即得到用于太阳能硅片加工的金刚线切割液。

原料配伍

所述润湿剂为支链脂肪醇聚氧乙烯醚、支链脂肪醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚中的一种或者两种的混合。

所述聚乙二醇的分子量为200～8000。

所述分散剂为聚羧酸铵盐、聚丙烯酸铵盐中的一种。

所述螯合剂为乙二胺四乙酸。

所述防锈剂为油酸三乙醇胺、磺化油中的一种。

所述杀菌剂为异噻唑啉酮。

所述pH值稳定剂为胺万达。

所述消泡剂为聚硅氧烷、聚醚或四甲基一二醇一癸炔中的一种。

所述水为去离子水，电阻≤1.0MQ。

产品应用本品主要是一种用于太阳能硅片加工的金刚线切割液。

用于太阳能硅片加工的金刚线切割液，按1：200～400(v/v)与纯水混合，用于金刚线硅片切割。

产品特性

（1）本品的用于太阳能硅片加工的金刚线切割液能快速的润湿金刚线及硅片，有效发挥润滑、冷却、保护作用，防止金刚线切割能力的快速降低、切割过程中断线异常现象的出现；并解决了切割过程中产生的硅粉、碳化硅及其它杂质颗粒分散效果不理想的问题，使金刚线切割液能在高速往复运行的金刚线上快速铺展润湿分散硅粉、碳化硅等其它杂质，保证了硅片的切割质量；不仅适用于单晶硅切割，也适用于多晶硅的切割。

（2）本品的用于太阳能硅片加工的金刚线切割液能有效的使切割加工顺利进行，对金刚线、硅片润湿效果优异，有效的保护金刚线，适应硅片加工金刚线细化的技术改进，大幅降低单晶、多晶切割过程断线的几率，降低了金刚线使用量；同时提升了切割硅片的切割优良率，对硅片切割过程中产生的硅粉及其他杂质具有良好的润湿分散，降低了硅片的厚度不均、翘曲度、脏片、线痕以及薄厚不均等不良性指标。

（3）本品的用于太阳能硅片加工的金刚线切割液主体材料可生物降解，水生生物非常低，是一种对环境友好的切割液。

（4）本品通过加入的润湿剂能有效的在高速运转的金刚线上铺展润湿，避免了在切割硅片过程中产生的瞬时高温，影响金刚线的强度以及金刚线切割能力的快速降低；通过加入的分散剂能有效的润湿分散在切割硅片过程中会产生大量的硅粉等其它杂质，防止结块，降低了金刚线在切割运行当中出现并线、断线等异常现象，有效的保证了硅片的质量；通过加入的螯合剂消除了在切割过程中产生的金属粒子，降低硅片制绒过程产生的异常现象；通过加入的防锈剂防止了不锈钢材质的循环管路腐蚀产生，同时还具有一定的润滑和冷却性能；通过加入的杀菌剂有效的防止了切割液中细菌微生物滋生：通过加入的消泡剂有效的抑制了气泡的产生，降低了切割硅片质量不良情况的产生。

（5）用于金刚线硅片切割，切割完成后，硅片没出现厚度不均、白斑、色差、线痕、翘曲度等不良情况，冷却效果好，对金刚线润湿性能突出，有效保护金刚线切割能力，切割完毕后金刚线上碳化硅剩余颗粒平均高度3.Oμ.m以上，切割前碳化硅颗粒高度平均值为5.5μm。对切割过程中产生大量的硅粉及其它微粉颗粒润湿悬浮分散效果好，切割后硅片干净，有利于下道脱胶清洗工序的进行。不仅适用单晶硅片加工，同时也适用于对多晶硅片加工。金刚液的使用量小，所采用的主体材料，可生物降解，对环境友好。

参考文献中国专利公告CN－201810563386.5