脉冲激光沉积法制备CuAlO₂薄膜的结构与性能的深度剖析.docxVIP

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2026-01-08 发布于上海
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脉冲激光沉积法制备CuAlO₂薄膜的结构与性能的深度剖析.docx

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脉冲激光沉积法制备CuAlO?薄膜的结构与性能的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代电子器件的发展进程中，透明导电氧化物（TCO）材料凭借其独特的光电性能，成为了众多领域的研究焦点。这类材料在可见光范围内呈现出高透过性，同时具备良好的导电性，使其在平板显示器、太阳能电池、触摸屏等诸多光电器件中有着不可或缺的应用。从20世纪初TCO材料的概念被提出，到如今广泛应用于各种先进电子设备，其研究和应用不断取得突破，推动着电子工业的持续进步。

在TCO材料的发展历程中，氧化铟锡（ITO）曾是应用最为广泛的透明导电材料。ITO具有高的载流子浓度和迁移率，从而展现出优异的导电性能