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配方用于硅片的单组份金刚线切割液
原料配比
原料
配比（质量份）
1#
2#
3#
PO-EO-PO结构的嵌段聚醚
嵌段聚醚A（EO：20%；分子量1500）
15
10
25
嵌段聚醚B（EO：30%；分子量3000）
—
6
5
嵌段聚醚B（EO：40%；分子量2500）
15
25
15
异构C8醇聚氧乙烯醚（EO：60%）
7
—
—
泡渗透剂
异构C8醇聚氧乙烯醚（EO：40%
—
3
3
异构C?10醇聚氧乙烯醚（EO：50%）
8
—
3
异构C10醇聚氧乙烯醚（EO：45%）
—
6
—
非硅消泡剂
磷酸三异丁酯
10
5
3
去离子水
45
45
46
制备方法将以上各组分加入搅拌装置中，搅拌均匀即可，所得切割液外观状态为无色透明粘稠液体。
原料配伍
所述的PO-EO-PO结构的嵌段聚醚，结构为HO（C3H6O）a（CH2CH2O）b（C3H6O）cH，其中a＝10～30，b＝10～30，c＝10～30，其中EO链段的比例为20～40wt%，分子量在1500～3000之间。
所述的PO-EO-PO结构的嵌段聚醚至少包含两种EO链段比例的嵌段聚醚。
所述的抑泡渗透剂为具有低泡特性的异构C8、C10醇聚氧乙烯醚。
所述异构C8、C10醇聚氧乙烯醚的EO链段的比例在40～60wt%。
所述的非硅消泡剂为磷酸三异丁酯、磷酸三正丁酯中的一种或其混合物。
产品应用本品主要是一种用于硅片的单组份金刚线切割液。
产品特性
（1）本品限定PO-EO-PO结构的嵌段聚醚还具有一定的润滑性能，可以不用额外添加润滑剂，切割出的表面平整，线痕少。
（2）本品限定PO-EO-PO结构的嵌段聚醚具有清洗性能，比额外添加润滑剂的体系更容易清洗，排片时更加容易清洗干净，减少水洗的污水排放。
（3）本品的用于硅片的单组份金刚线切割液，使用限定结构的嵌段聚醚作为主要润滑剂，具有较好的润滑效果，同时具有一定的润湿性；使用具有低泡特性的异构C8、C10醇聚氧乙烯醚作为渗透剂，增强体系的渗透性能，从而达到更好的清洗效果；另外使用非硅消泡剂可以消除聚醚产生的少量泡沫，同时也起到一定的渗透作用，不会在硅片表面留下白点。
（4）本品不仅具有低泡特性，而且不含有机硅消泡剂；还具有优异的润滑、冷却、对硅粉的润湿及分散，易清洗等性能，因此本品不仅解决了加工过程中的泡沫问题，而且也解决了产品后续排片中的清洗问题、产品良率等问题。
（5）采用本品实施方式中的切割液，切割过程泡沫低，无泡沫溢槽现象的发生，润湿快、润滑耐磨性能好，冷却性能好，硅粉分散效果好，硅片的切割良率达到95%以上，硅片易清洗。
参考文献中国专利公告CN－201711118431.8
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