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洁净车间防静电施工技术方案

一、施工准备

1.1技术准备

组织技术团队熟悉洁净车间设计图纸，重点复核防静电区域划分、接地系统走向及材料规格参数。编制《防静电施工技术交底文件》，明确防静电地面、墙面、吊顶的施工工艺标准，特别标注ESD敏感区域（如电子元件组装区）的表面电阻值要求（1×10?Ω~1×10?Ω）。针对洁净度等级（ISO5级~ISO8级）差异，制定差异化施工流程，例如ISO5级区域需采用焊接式接地连接，ISO8级区域可采用压接式连接。

1.2材料准备

材料名称

规格参数

防静电性能指标

适用区域

防静电PVC地板

厚度2mm，卷材

表面电阻1×10?Ω~1×10?Ω，摩擦电压＜100V

洁净区、缓冲区

导电铜箔

宽度50mm，厚度0.05mm

体积电阻率＜0.01Ω·cm

地面接地网格

防静电环氧树脂涂料

双组分，固体含量≥90%

表面电阻1×10?Ω~1×10?Ω，附着力≥5MPa

设备基础、墙面

铝合金防静电龙骨

截面尺寸38×15mm，表面阳极氧化

接地电阻＜4Ω

吊顶支撑

防静电洁净彩钢板

厚度50mm，芯材为岩棉

表面电阻1×10?Ω~1×10?Ω，防火等级A级

墙面、隔断

所有材料进场前需进行抽样检测，例如使用表面电阻测试仪（型号SIMCOFMX-003）对防静电地板进行10点测试，确保合格率100%。材料存储需单独划分防静电区域，地面铺设防静电胶垫，远离强电磁场源（如电焊机、变压器）。

1.3机具准备

配置防静电施工专用工具，包括：

接地电阻测试仪（量程0~20Ω，精度±1%）

表面电阻测试套件（含重锤式电极、绝缘电阻表）

无尘打磨机（配备HEPA过滤器，转速800~1500r/min）

防静电焊枪（温度可调范围150~300℃）

洁净室专用吸尘器（过滤效率H13级）

激光水平仪（精度±0.1mm/m）

所有电动工具需进行接地处理，手柄包裹防静电胶带，操作人员佩戴防静电手环（接地电阻1MΩ）。

二、防静电地面处理

2.1基层处理

地面打磨：使用无尘打磨机对混凝土基层进行打磨，去除浮浆、油污及杂质，表面平整度误差控制在2mm/2m以内。打磨后采用H13级吸尘器清理粉尘，确保每平方米灰尘颗粒（≥0.5μm）＜100个。

裂缝修补：对基层裂缝采用环氧树脂砂浆（添加导电炭黑）填充，修补深度≥5mm，养护时间≥72h。修补后表面需进行电阻测试，确保与周边基层电阻值偏差＜10%。

接地网格施工：在基层表面铺设导电铜箔网格，网格间距1.5m×1.5m，铜箔交叉点采用锡焊连接（焊点直径≥8mm）。网格边缘引出接地端子，采用BV-4mm2铜芯线连接至独立接地极（接地电阻＜1Ω）。

2.2防静电地板铺设

自流平施工：在接地网格表面涂刷导电底油（用量0.2kg/m2），待表干后（约4h）铺设防静电自流平砂浆，厚度3mm。使用齿形刮板摊铺，消泡滚筒消除气泡，养护温度控制在20±2℃，湿度50±5%，养护期7d。

PVC地板铺设：采用满粘法施工，使用防静电专用胶水（涂布量0.3kg/m2），地板接缝采用热熔焊接（焊枪温度200~220℃，焊接速度1.5~2m/min）。焊接完成后使用美工刀修整焊道，确保表面平滑过渡。

接地连接：每100m2区域设置1个接地引出点，通过铜箔与地面网格连接，引出点使用Φ8mm不锈钢接地螺栓固定，螺栓头部需做绝缘处理（套PVC绝缘套管）。

2.3验收标准

表面平整度：2mm/2m靠尺检查，误差≤1mm

表面电阻：使用点对点测试法，测试电压100V，数值应在1×10?Ω~1×10?Ω范围内

接地连续性：测试接地端子与接地极之间电阻，应＜1Ω

洁净度：铺设完成后进行尘埃粒子检测，ISO5级区域≥0.5μm粒子＜3520个/m3

三、墙面与吊顶施工

3.1防静电墙面施工

基层处理：混凝土墙面铲除浮灰，使用防静电腻子（添加导电纤维）批刮2遍，每遍厚度0.5mm，打磨后表面粗糙度Ra≤3.2μm。金属墙面需进行磷化处理，涂刷导电底漆（干膜厚度≥30μm）。

彩钢板安装：采用龙骨固定式安装，龙骨间距600mm×600mm，龙骨与接地干线连接（使用6mm2铜编织带，连接点间距≤2m）。彩钢板接缝处填充导电密封胶（体积电阻率＜1Ω·cm），表面贴50mm宽防静电压敏胶带。

涂料施工：非彩钢板区域涂刷防静电环氧树脂涂料，采用无气喷涂工艺（喷嘴直径0.4mm，压力15MPa），干膜厚度80μm，涂刷2遍，每遍间隔24h。实干后进行表面电阻测试，确保数值符合设计要求。

3.2防静电吊顶施工

龙骨安装：主龙骨采用C型钢（规格50×15mm），间距1200mm，通过吊杆与顶板连接，吊杆间距900mm。副龙骨为防静电铝合金龙骨，间距600mm，与主龙骨通过导电挂件连接（挂件材质为黄铜，厚度2mm）。

吊