三丝型质点振速传感器的模型分析.pdfVIP

测控技术

·４４·２０２２４１９先进传感器与大气气象测量技术专刊／

年第卷第期

三丝型质点振速传感器的模型分析

１，２１，３１２１，３

王绥昌，郭轩瑞，朱林辉，张颖，郭航

（１．厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院，福建厦门３６１００５；２．厦门大学马来西亚分校新能源科学与工程系，

马来西亚雪邦；厦门大学马来西亚分校电子信息工程系，马来西亚雪邦）

４３９００３．４３９００

摘要矢量传声器在声源的识别检测与定位功能中有着极其重要的作用质点振速传感器作为矢量传声

：，

器的核心原件，可以直接测量空气中质点振动速度。目前，两丝型传感器在理论与实验方面已有较多研

究而三丝型传感器仍然缺少相应的理论分析从微通道内热传导方程出发分别探究了该传感器在无

，。，

，

声源和有声源情况下微通道内的稳态温度场和热扰动场并以此初步建立了三丝型质点振速传感器的

解析模型随后利用有限元仿真软件ＡＮＳＹＳ进行建模与仿真将得到的数值模拟结果与解析模型比

。，，

对，验证了解析模型，为研发高性能质点振速传感器提供了理论分析与设计基础。

关键词质点振速传感器热传导方程微通道结构解析模型数值仿真

：；；；；

中图分类号：文献标志码：文章编号：（）

ＴＰ２１２Ａ１０００－８８２９２０２２０９－００４４－０６

ｄｏｉ：１０．１９７０８／ｊ．ｃｋｊｓ．２０２１．１０．２７５

ＴｈｅｏｒｅｔｉｃａｌＡｎａｌｙｓｉｓｏｆＴｈｒｅｅＷｉｒｅＰａｒｔｉｃｌｅＶｅｌｏｃｉｔｙＳｅｎｓｏｒ

１牞２１牞３１２１牞３

ＯＮＧＳｕｉｃｈａｎｇ牞ＧＵＯＸｕａｎｒｕｉ牞ＺＨＵＬｉｎｈｕｉ牞ＺＨＡＮＧＹｉｎｇ牞ＧＵＯＨａｎｇ

牗１．ＰｅｎＴｕｎｇＳａｈＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＭｉｃｒｏＮａｎｏＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ牞ＸｉａｍｅｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ牞Ｘｉａｍｅｎ３６１００５牞Ｃｈｉｎａ牷

２．ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＮｅｗＥｎｅｒｇｙＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ牞ＸｉａｍｅｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙＭａｌａｙｓｉａ牞Ｓｅｐａｎｇ牞４３９００牞Ｍａｌａｙｓｉａ牷

３．ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＥｌｅｃｔｒｉｃａｌａｎｄＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ牞ＸｉａｍｅｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙＭａｌａｙｓｉａ牞Ｓｅｐａｎｇ４３９００牞Ｍａｌａｙｓｉａ牘

Ａｂｓｔｒａｃｔ牶Ｍｉｃｒｏｆｌｏｗｎｐｌａｙｓａｎｅｘｔｒｅｍｅｌｙｉｍｐｏｒｔａｎｔｒｏｌｅｉｎｔｈｅｆｕｎｃｔｉｏｎ