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集成微腔中的传感技术研究文献综述

集成光学微腔Q值很高，代表其具有很强限制光的能力，使得光子有足够多的时间在腔内谐振，增加了光子与物质的相互作用。另外，当模式体积较小时，意味着光场被高度局域在腔内，光与物质之间的作用将进一步增强。因此，同时具有高Q值低模式体积的集成光学微腔具有很多重要的应用，超灵敏传感便是其中之一。

在一个集成光学微腔和拉锥光纤的耦合系统中，当一个弹性散射小颗粒附着在微腔的侧壁，由于存在光的散射，简并的谐振模式会被破坏，产生一个CW和CCW的传输分量。当两个分量发生耦合作用，就会产生谐振模式的移动[138-140]和劈裂现象[141-143]。当模式劈裂程度小于其线宽，会引起模式的展宽[144,145]。如果颗粒具有非弹性散射特性，它会吸收一部分光子从而也使谐振模式展宽。由此可见，集成微腔在纳米颗粒传感的应用上，主要表现在谐振光谱的移动、劈裂和展宽。

图117利用回音壁模式移动测量单个病毒装置[146]

Figure117Singlevirusdetectionfromthereactiveshiftofawhispering-gallerymode[146]

2008年美国哈佛大学研究团队利用集成微腔成功实现探测流感病毒[146]。为确定方案的可行性，研究人员先用该系统测量半径为250nm的PS小球。当透射光谱发生明显的移动，可以判断此时有PS小球附着在腔体表面，其中光谱移动最大时意味着PS小球吸附在腔体光场分布最强的位置。在测量过程中，人们发现小球没有吸附在腔体时也能被探测，因此该方法可以动态的测量纳米颗粒和微腔的吸附过程，如图1-17所示，最终科研人员成功探测到半径为50nm的病毒分子。2013年哈佛大学Crozier等人利用一维光子晶体微腔实现对直径为80nm的银纳米颗粒探测[147]，谐振波长偏移量和纳米颗粒的数量成正相关。2015年哈佛大学Quan等人利用Q值高达2.5×105的光子晶体微腔探测到最小直径为1.8nm的金纳米颗粒[148]。

图118圆球微腔对拉锥光纤的探测示意图[149]

Figure118Schematicofdetectionoftaperedfiberbysphericalmicrocavity[149]

a)微球腔实现拉锥光纤的探测装置

a)Microspherecavitytorealizetaperedfiberdetectiondevice

b)2号探测器采集的双峰光谱

b)AnexampleofthedoubletspectrumrecordedonPD2

利用谐振光谱劈裂的特征，研究人员也做了一系列相关工作。2007年瑞士研究人员用一根拉锥光纤取代纳米颗粒去靠近微球谐振腔，实验中共使用三个光电探测器[149]，如图1-18a)所示。经棱镜收集后1号探测器测量透射光谱，2号探测器利用多模光纤采集微球腔的散射光谱，3号探测器接收拉锥光纤的光信号。其中2号探测器可以接收到劈裂的光谱如图1-18b)所示，当探针沿着微球的不同径向、方位角和极性方向移动，谐振光谱劈裂的程度将随之改变，证明了该方案的可行性。

2010年华盛顿大学Yang课题组利用两根拉锥光纤靠近微腔，同样观察到模式劈裂，改变光纤位置能够动态调控劈裂的模式，在频率和线宽上分别出现交叉和反交叉的现象[150]。同年该课题组通过一个Q值高达108的微腔成功探测到纳米颗粒的尺寸[151]，如图1-19所示。研究人员首先测量没有纳米颗粒附着的微腔透射光谱，确保自身不存在模式劈裂。然后动态增加附着纳米颗粒的数量，观察透射光谱的实时变化。只有一个纳米颗粒附着时，单个洛伦兹型谱线劈裂成两个峰，逐渐增加纳米颗粒的数量，劈裂后的两个峰半高宽随之变大。由于纳米颗粒附着的位置具有很大的随机性，连续增加颗粒的数量并不会导致半高宽的持续变化。为深入研究纳米颗粒和模式劈裂之间作用的机理，研究人员建立模型进行理论推导，得出纳米颗粒的尺寸和两个劈裂模式的耦合强度及线宽增加三者之间的关系。推算出纳米颗粒的尺寸与电子扫描显微镜（Scanningelectronmicroscope,SEM）测量的实际尺寸对比，平均误差不超过3%，具有很大的应用价值。值得注意的是，该方法不受纳米颗粒的位置影响，这也是和谐振波长偏移传感机制的最大区别。

图119实验装置与微环腔纳米颗粒传感系统[151]

Figure119Experimentalset-upandcoupledmicrotoroidcavity-nanoparticlesystem[151]

a)实验装置示意图

a)Schematicoftheexp