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·110·宇航计测技术2025年

一定程度上提高谐振子品质因数。基于对22根谐[2]胡淑金.谐振筒式液体密度传感器的研究[D].天津:天

振子试样的试验验证,解析式能够有效反映品质因津大学,2014.

数的变化规律,可为尺寸参数优化提供理论依据。[3]BECKERP,SCHIELD,POHLHJ,etal.Large-scalepro-

然而,对于尺寸较小的长直管谐振子,仅依靠尺寸ductionofhighlyenriched28Sifortheprecisedetermina-

tionoftheAvogadroconstant[J].MeasurementScience

优化难以显著提升品质因数。进一步的结构分析

andTechnology,2006,17(7):1854-1860.

显示,品质因数主要受介质损耗、材料损耗和边界

[4]RECHBERGERA,AMSüSSR,ROSSEGGERS,etal.High

损耗影响,其中单管双端固支结构下端部应力引起precisionvibration-typedensitometersbasedonpulsedex-

的边界损耗对品质因数提升的制约最为显著。针citationmeasurements[J].Sensors,2019,19(7):1627.

对这一问题,本研究提出了双管对振谐振子结构以[5]范钦珊,殷雅俊.材料力学[M].北京:清华大学出版社

优化边界损耗,试验结果表明,在相同尺寸条件下,有限公司,2004.

通过改善边界约束与加工精度,谐振子品质因数可[6]张桂铭.微机械悬臂梁谐振传感器的关键技术与应用研

提升约一个数量级。未来若进一步采用高性能材究[D].陕西:西安交通大学,2014.

料及真空环境等工艺改进措施,品质因数有望达到[7]张涛,孙立宁.压电陶瓷基本特性研究[J].光学精密工

3程,1998,6(5):26-32.

10数量级,从而接近进口产品的水平。

[8]李杏华,李明璐,许斌.一种基于锁相放大的谐振式密度

传感器谐振频率测量系统设计[J].传感技术学报,

参考文献

2024,37(10):1659-1666.

[1]李兴华.密度浓度测量[M].北京:中国计量出版社,1991.

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