正压法音速喷嘴气体小流量标准装置的建立和影响因素研究.pdfVIP

摘要

半导体制备、环境监测等领域的发展对气体小流量测量的精度提出了更高的要求。

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气体小流量计多应用于（0.1～0.6）MPa，流量范围6m/h内的工况条件，但国内适用

于小流量的标准装置多采用负压法，无法满足其检测需求，因此亟需建立正压法音速喷

嘴气体小流量标准装置。该文针对正压下音速喷嘴溯源时无法全面覆盖所需雷诺数范围、

正压小流量装置漏率的测量方法和量化指标缺乏相关依据两方面的问题开展研究，并通

过实验进一步验证装置的基本性能，完成装置的不确定度评定及不确定度水平验证。具

体内容如下：

（1）完成了正压音速喷嘴装置机械结构和测控系统的设计和搭建。首先明确装置

建立的技术指标，结合流量检定需求点、温压测量有效性及机械加工可行性三方面，提

出音速喷嘴规格及安装方式的选择依据。进而采用机械建模软件，设计音速喷嘴、滞止

容器等关键部位的密封方式，并优化喷嘴下游阀门和管路，实现装置使用中监测及正、

负压法结合的功能。

（2）针对喷嘴溯源时无法通过实验全面覆盖所需雷诺数范围的问题，使用中国计

量科学研究院正、负压法两套p.V.T.t装置对单支喷嘴做常压和正压压力点的定点校准。

得到喷嘴各个压力点下的雷诺数和流出系数后，进而分别基于ISO9300和最小二乘法

进行非定点拟合，得到装置工作压力范围内准确连续的流出系数，其覆盖雷诺数范围

2219～209700，经计算拟合引入的相对标准不确定度为0.04%。

（3）为了解决正压小流量装置漏率的测量方法的选择问题，首先根据温、压测量

仪表的配置对装置进行气密性测试和漏点排查。其次建立装置流量范围内不同压力和不

同流量点下的漏率测量数学模型，并通过漏率测量实验量化漏率对装置的影响。结果表

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明：压力越高流量越小，装置的漏率越大；在（0.1～0.6）MPa，1m/h及以上流量范围

内装置的漏率均小于0.1%，但在小流量点下漏率影响较为显著，说明密封性是建立正

压装置需要考虑的关键因素之一。

（4）为验证装置的性能，开展音速喷嘴标准装置的流量稳定性实验，完成装置的

不确定度评定。进而选用热式气体质量流量计作为传递标准，将其与中国计量科学研究

院活塞法标准装置（扩展不确定度0.16%，k=2）进行比对，验证装置的不确定度水平。

结果表明：新建气体小流量音速喷嘴标准装置的流量稳定性在0.011%内，性能稳定可

靠；比对满意度指标小于1，验证了装置不确定度水平优于0.2%（k=2）。

基于以上研究内容，完成了（0.1～0.6）MPa音速喷嘴法气体小流量标准装置的建

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立，装置工况流量范围（0.016～6）m/h，扩展不确定度为0.17%（k=2）。

关键词气体流量音速喷嘴标准装置流出系数校准漏率测量不确定度

Abstract

Thedevelopmentinthefieldsofsemiconductorpreparationandenvironmentalmonitoring

hasposedhigherdemandsontheaccuracyofgaslowflowratemeasurement.Gaslowflow

metersarecommonlyusedunderoperatingconditionsof(0.1～0.6)MPawithaflowrangeof

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6m/h.However,thestandarddevicesindomesticapplicationsforlowflowratesmostlyutilize

thenegativepressuremethod,whichcannotmeetthedetectio