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ICS25.220.40
CCSA20
团体标准
T/CIXXX-2022
T/CI863—2024
硬质涂层的电弧/溅射复合离子镀设备
技术条件
Technicalrequirementsforthehybridarc/sputteringionplatingequipmentfor
hardcoatings
2024-12-30发布2024-12-30实施
中国国际科技促进会发布
湖北科学技术出版社出版
T/CI863—2024
目次
前言II
1范围1
2规范性引用文件1
3术语和定义1
4复合离子镀沉积刀具涂层的技术要求2
4.1镀膜前刀具表面质量控制技术要求2
4.2靶材质量及检验方法2
4.3复合离子镀设备的真空技术要求2
4.4复合离子镀的沉积参数要求2
5复合离子镀刀具涂层的性能要求和检测方法3
5.1外观和刀具工作部分3
5.2涂层厚度3
5.3涂层硬度3
5.4结合强度3
5.5涂层内应力3
5.6涂层耐磨性4
I
T/CI863—2024
硬质涂层的电弧/溅射复合离子镀设备技术条件
1范围
本文件规定了电弧/溅射复合离子镀设备的技术条件和所沉积硬质涂层的检测方法。
本文件适用于硬质涂层的电弧/溅射复合离子镀设备。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，凡是注日期的引用
文件，仅注日期的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于
本文件。
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JB/T11442整体硬质合金涂层刀具检测方法
NB/T47013.3承压设备无损检测第3部分：超声检测
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
复合离子镀hybridionplating
在真空条件下，利用气体放电溅射一靶材的同时可利用电弧蒸发另一靶材，且通过偏置电压在气体
离子或被离化的靶材物质的轰击作用的同时在基体上镀膜的技术。
3.2
硬质涂层
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