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电子厂超纯水招标文件技术规范.docx

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    电子厂超纯水招标文件技术规范

    1.水质指标要求

    超纯水系统产水需满足电子级超纯水标准（参考SEMIC7-0705、GB/T11446.1-2013中EW-Ⅰ级标准），具体指标如下：

    1.1常规指标（25℃）

    -电阻率：≥18.2MΩ·cm（理论极限值），在线监测值波动范围≤±0.1MΩ·cm；

    -总有机碳（TOC）：≤5ppb（需配置在线TOC分析仪，检测限≤1ppb）；

    -溶解氧（DO）：≤50ppb；

    -硅（以SiO?计）：≤1ppb；

    -总阴离子（Cl?、SO?2?、NO??等）：≤1ppb（单项≤0.5ppb）；

    -总阳离子（Na?、

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