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拼接式反射镜共相位干涉检测技术：原理、挑战与创新应用

一、引言

1.1研究背景与意义

1.1.1反射镜精度需求的提升

在现代光学领域，随着光学制造和检测技术的飞速发展，各行业对光学元件精度的要求日益严苛。反射镜作为一种基础且重要的光学元件，广泛应用于激光器、天文观测、航天器、光学成像系统等诸多领域，其精度直接影响到整个光学系统的性能和应用效果。

在激光器中，反射镜的高精度能够确保激光束的稳定传输和高质量输出，提高激光加工的精度和效率。例如，在激光切割、焊接等工业应用中，反射镜的微小误差可能导致激光束的偏离，从而影响加工质量和精度，甚至可能损坏被加工材料。在天文观测领域，反射镜的精度决定了