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电容传感器的应用;一、电容测厚仪;二、电容加速度传感器;硅微加工加速度传感器原理;与加速度测试单元封装在同一壳体中的信号处理电路将ΔC转换成直流输出电压。它的激励源也做在同一壳体内，所以集成度很高。由于硅的弹性滞后很小，且悬臂梁的质量很轻，所以频率响应可达1kHz以上，允许加速度范围可达±100g以上。
如果在壳体内的三个相互
垂直方向安装三个加速度传感
器，就可以测量三维方向的振
动或加速度。;6;7;加速度传感器在汽车中的应用;汽车气囊的保护作用;汽车气囊对驾驶员的保护作用;利用加速度传感器实现延时起爆的钻地炸弹;三、湿敏电
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