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宇航计测技术2025年

2025年10月宇航计测技术Oct.2025

第45卷第5期JournalofAstronauticMetrologyandMeasurementVol.45No.5

文章编号:1000-7202(2025)05-0046-07DOI:10.12060/j.issn.1000-7202.2025.05.07

集成电路延迟时间标准样片研制及不确定度分析

黄智超,赵昭∗

(中国电子技术标准化研究院,北京100176)

摘要:集成电路(IntegratedCircuit,IC)的延迟时间是集成电路测试系统性能的重要参数,针对集成电路测试

系统纳秒级的延迟时间在线校准的问题,提出了用标准样片校准延迟时间的方法,并基于电感电容对延时电路设计

了一套延迟时间标准样片;研建了延迟时间标准样片定标装置,完成了延迟时间标准样片的定标,延迟时间分别为

2ns、5ns、10ns、50ns、100ns,并对延迟时间定标结果进行了不确定度分析,扩展不确定度均优于2%,解决了集成

电路测试系统延迟时间在线校准问题,设计的延迟时间标准样片可用于开展延迟时间的校准工作。

关键词:集成电路;延迟时间;不确定度

中图分类号:TN492文献标志码:A

DevelopmentofStandardSamplesforIntegratedCircuitsDelay

TimeandUncertaintyAnalysis

HUANGZhichao,ZHAOZhao∗

(ChinaElectronicsStandardizationInstitute,Beijing100176,China)

Abstract:Thedelaytimeofintegratedcircuitsisanimportantparameterforevaluatingtheperformanceofintegrated

circuittestingsystems.Toaddresstheissueofonlinecalibrationofnanosecond-leveldelaytimeinintegratedcircuittesting

systems,amethodforcalibratingdelaytimeusingstandardsamplesisproposed.Basedoninductanceandcapacitance,aset

ofdelaytimestandardsampleswasdesignedforthedelaycircuits.Acalibrationequipmentfordelaytimestandardsamples

wasdeveloped,andthecalibrationofthedelaytimestandardsampleswascompleted,withdelaytimerecordedat2ns,5ns,

10ns,50ns,and100ns,respectively.Furthermore,theuncertaintyanalysisofthedelaytimecalibrationres