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基于GaAs多结太阳能电池的宽光谱减反射膜研究.pdf

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    摘要

    针对GaAs多结太阳能电池在宽光谱范围（300-1300nm）的减反射需求，本

    研究基于Macleod软件的光学仿真与掠角蒸发沉积（GLAD）工艺，实现了减反

    射膜设计优化到工艺制备，以及太阳电池集成验证。设计并制备了Nano-

    MgF/ZnS/MgF/ZnS四层类梯度折射率减反射膜（QLARC）解决了传统单层和

    22

    双层减反射膜（SLARC和DLARC）因受限于折射率材料而无法在宽光谱范围内

    实现低反射率的难题。

    首先，使用

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