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附录A

（资料性）

振动式MEMS驻极体能量收集器的测试示例

A.1概述

附录A描述了驻极体能量收集器的测试示例。第A.2至A.5条总结了不同结构

MEMS驻极体能量收集的原理、测试方法以及测试结果。第A.6条总结了平面外间隙式

驻极体能量收集器测试示例。

A.2驻极体能量收集器的数值模型

图A.l显示了平面内驻极体能量收集器的基本结构[1]，[2]。

X(t)是振动对电极和驻极体之间在指定时间间隔t的重叠区域的长度。如图A.1中

所示，通过连接在被测器件电极上的指定外部电阻，可以观察到对电极和基电极之间的电

压差V(t)。V(t)由被测器件一部分的机械振动产生的感应电流I(t)引起。

V(t)和X(t)之间的关系根据公式(A.1)-(A.5)得到。

1平面内驻极体能量收集器8E：驻极体表面和基电极之间15对电极：驻极体上带有狭

b

结构的静电场窄气隙的电极

2驻极体9g：对电极与驻极体之间的间16σ：表面电荷密度

隙

3D：驻极体膜的厚度10Ec：对电极和保护电极之间的17I(t)：由DUT机械振动所

产生的感应电流

静电场

4基电极：附在底部驻极体11保护电极：附加电极，使条纹18R：指定外部电阻

的电极场不需要的影响最小化

5C：驻极体表面和对电极12C：DUT的寄生电容19V(t)：对电极与基电极之间

gP

之间的电容的电压差

6Ce：驻极体表面与基电极13w：对电极的宽度

10

之间的电容

7E：对电极和驻极体表面14X(t)：驻极体和对电极之间重

a

之间的静电场叠区域的长度

图A.1—平面驻极体能量收集器的基本结构示意图



假设存在一维静电场。、d、g和分别是驻极体膜的表面电荷密度、驻极体膜的

厚度、驻极体与对电极之间的间隙以及驻极体材料的相对介电常数。在图A.1中，采用

保护电极来减少边缘场，从而减小寄生电容C。假设外部负载为纯电阻R。假设寄生电

p

容不随时间变化。在驻极体表面应用高斯定律，我们得到：

-E+E(A.1)

20b10a

式中：

E是驻极体表面与基极之间的静电场;

b

E是对电极与驻极体表面之间的静电场;

a

是表面电荷密度;

是气隙的相对介电常数;

1

