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机械工程师

MECHANICALENGINEER

一种四倍频晶体温控箱的温度场分析

赵运武，朱建平，连克难，文兴全

（中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，四川绵阳621900）

摘要：四倍频晶体温度变化0.5℃会导致其效率降低20%，因此必须精确控制其温度。文中利用有限元软件ANSYS分析了

一种四倍频晶体温控箱的温度场，计算了其大温差调节时温度场的变化过程，模拟了晶体瞬时温度波动的调节过程，并分析了水

温波动对晶体框组件温度场的影响。分析结果表明温控箱能达到控温精度要求。

关键字：四倍频晶体；温控箱；有限元；温度场

中图分类号：TN248.1文献标志码：A文章编号：员园园圆原圆猿猿猿（圆园员8）02原园139原园3

ThermalFieldAnalysisofTemperatureControlSystemforFHGCrystal

ZHAOYunwu,ZHUJianping,LIANKenan,WENXingquan

(InstituteofMechanicalManufacturingTechnologyofCAEP,Mianyang621900,China)

Abstract:TheefficiencyofFHGcrystalwillreducetwentypercentasitstemperaturechanges0.5Celsiusdegree,so

thetemperaturemustbecontrolledaccurately.ThethermalfieldofthetemperaturecontrolsystemforFHGcrystalis

analyzedbytheFEMsoftwareinthispaper.Thechangingprocessofthermalfieldinregulationoflargetemperature

differenceiscalculated,theregulatoryprocessoftheinstantaneoustemperatureundulatingissimulated,andthe

influencetothermalfieldofthecrystalframebytheundulatingofwatertemperatureisanalyzed.Theresultsindicate

thatthetemperatureprecisionrequirementofcontrollingcanbeachieved.

Keywords:FHGcrystal;temperaturecontrolsystem;FEM;thermalfield

0引言

四倍频晶体对温度变化十

分敏感，温度变化0.5益会导致

[1]

其效率降低20%，因此必须严

格控制其温度变化及温度梯度

分布。四倍频晶体工作时需要置

于温控箱中，温控箱的温度控制

精度指标如下：1）温度可在20耀

35益之间调节，平衡时间小于

12h；2）温度控制精度臆依0.1

益；3）温度的面均匀性臆依0.1

益；4）恒温状态下出现温度扰动

时，重新平衡时间小于1h。

温控箱周围的环境温度在

20耀23益之间波动。拟采用的控

温方式为水浴控温，利用铜管道

内循环的恒温水调节其内部温图1温控箱结构图

度场，并利用隔热材料制造的外

壳减小其与外界的热量交换，从而保证温控箱的温度场调节。温控箱的传热方式主要有:保温管道与前后保温段、

满足稳定性和均匀性的要求。为了在设计时分析温控箱