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公司光刻工岗位现场作业操作规程

文件名称：公司光刻工岗位现场作业操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于公司光刻工岗位现场作业，旨在确保操作人员安全、高效地完成光刻工作。规程要求操作人员严格遵守国家相关法律法规和公司安全管理制度，遵循操作规程，提高安全意识，确保生产安全。

二、操作前的准备

1.防护用品穿戴规范：

操作人员进入光刻车间前，必须穿戴公司规定的防护用品，包括但不限于防尘口罩、防护眼镜、防静电手套、防护服和防滑鞋。长发需束起，避免触碰设备。进入车间前，需对防护用品进行检查，确保其完好无损，符合使用标准。

2.设备状态检查要点：

a.检查设备外观是否有损坏、裂纹等异常情况。

b.检查设备电源、气源是否正常，确保无漏电、漏气现象。

c.检查设备各部件是否紧固，传动带、链条等是否有磨损。

d.检查设备控制系统是否正常，操作面板指示灯是否亮起。

e.检查设备冷却系统是否运行正常，确保温度在规定范围内。

3.作业环境基本要求：

a.工作区域应保持整洁，无杂物，确保通道畅通。

b.确保车间内通风良好，空气新鲜，无有害气体超标。

c.检查照明设备是否正常，确保光线充足，无阴影。

d.检查地面是否平整，无油污、积水等，防止滑倒。

e.定期检查消防设施，确保其处于良好状态。

三、操作的先后顺序、方式

1.设备操作流程：

a.启动设备前，确保所有安全防护措施已到位。

b.按照设备操作手册，依次开启电源、气源等。

c.设置光刻参数，包括曝光时间、光强等，确保符合工艺要求。

d.开启设备，进行光刻作业。

e.光刻完成后，关闭设备，关闭气源、电源。

f.对设备进行清洁和维护。

2.特定操作技术规范：

a.曝光时，保持操作稳定，避免设备震动。

b.光刻胶涂抹均匀，避免气泡和杂质。

c.曝光过程中，严格控制温度和湿度。

3.异常情况处理程序：

a.发现设备故障，立即停止操作，报告上级。

b.遇到紧急情况，如火灾、泄漏等，立即启动应急预案，疏散人员。

c.对于轻微故障，如设备报警，根据故障代码和操作手册进行初步排查和处理。

d.处理完毕后，进行设备复位，重新进行设备状态检查。

e.所有异常情况处理完毕后，记录详细情况，以便后续分析和改进。

四、操作过程中机器设备的状态

1.正常状态指标：

a.设备运行平稳，无异常噪音。

b.设备温度在规定范围内，冷却系统工作正常。

c.电压、电流稳定，无过载现象。

d.设备各部件运行协调，无卡顿或异常动作。

e.液压系统压力稳定，无泄漏。

f.光学系统清晰，无光学元件损坏。

2.常见故障现象：

a.设备震动加剧，可能因轴承磨损或紧固件松动。

b.设备温度异常升高，可能是冷却系统故障或负载过大。

c.电压波动，可能因电源供应不稳定或设备负载不均。

d.设备停止响应或操作面板显示错误，可能是控制系统故障。

e.光学系统模糊，可能是光学元件污染或损坏。

3.状态监控方法：

a.定期检查设备运行日志，分析运行数据。

b.使用监测仪器实时监控设备关键参数。

c.定期进行设备维护保养，预防潜在故障。

d.操作人员应具备基本的故障判断能力，发现异常及时报告。

e.建立故障档案，记录故障原因和维修过程，以便后续分析和改进。

五、操作过程中的测试和调整

1.设备运行时的测试要点：

a.定期检查设备运行参数，如温度、压力、电流等，确保在正常范围内。

b.检查光刻质量，如线条宽度、边缘锐度等，与标准样品对比。

c.监测设备运行声音，识别异常噪音，判断是否存在机械故障。

d.检查设备运行速度和精度，确保符合工艺要求。

2.调整方法：

a.根据测试结果，调整设备参数，如曝光时间、光强等。

b.调整光学系统，确保图像清晰，无畸变。

c.调整机械部件，如调整轴承间隙，确保设备运行平稳。

d.调整液压系统，确保压力稳定，无泄漏。

3.不同工况下的处理方案：

a.正常工况：保持设备参数稳定，定期进行维护和检查。

b.负载波动：根据负载变化调整设备参数，确保运行稳定。

c.环境变化：如温度、湿度变化，及时调整设备工作环境，必要时调整设备参数。

d.设备故障：立即停止操作，按照故障处理程序进行排查和维修。

e.紧急情况：启动应急预案，确保人员安全，尽快恢复正常生产。

六、操作人员所处的位置和操作时的规范姿势

1.作业姿态：

a.操作人员应保持站立姿势，双脚与肩同宽，自然站立。

b.操作时，保持脊柱自然挺直，避免长时间弯腰或扭曲身体。

c.操作手臂时应保持