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数控旋转超声波加工技术：原理、特性与应用探索

一、引言

1.1研究背景与动机

在现代制造业中，硬脆材料如工程陶瓷、光学玻璃、单晶硅、蓝宝石等，凭借其高硬度、高强度、耐高温、耐磨损以及良好的光学和电学性能，在航空航天、电子信息、光学仪器、生物医学等众多领域得到了极为广泛的应用。在航空航天领域，为了满足飞行器轻量化和高性能的需求，工程陶瓷被用于制造发动机的高温部件，如涡轮叶片、燃烧室等；在电子信息领域，单晶硅作为半导体材料的基础，是制造集成电路芯片的关键材料，其加工精度和表面质量直接影响芯片的性能和可靠性；在光学仪器领域，光学玻璃用于制造各种镜头、镜片等光学元件，对其光学性能和表面精度要求