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·104·《测控技术12017年第36卷第5期

硅压阻压力芯体恒压激励输出特性与温度

补偿研究

章建文，徐留根，全建龙，彭春增，涂孝军

(中航工业苏州长风航空电子有限公司传感器事业部，江苏苏州215151)

摘要：为从理论上分析温度对硅压阻压力芯体输出特性的影响及串并联NTC热敏电阻的温度补偿规

律，建立含压力和温度变量的分析模型，对10V恒压激励条件下的硅压阻式压力芯体的输出特性进行

了理论研究，并对军用级和民用级压力芯体的温漂系数进行比较分析。最后通过实测电阻温度系数，建

立补偿电阻模块等效B值，进行理论计算和数值模拟结果比较分析，方法有效、结果可行，并提高了调

试效率，为恒压激励下的温度补偿提供了理论依据。

关键词：硅压阻；压力芯体；恒压激励；温度补偿；热敏电阻

中图分类号：TP212．1文献标识码：A文章编号：1000—8829(2017)05—0104—04

ResearchonOutputCharacteristicsandTemperatureCompensationofSilicon

PiezoresistivePressureSensorDrivenbyConstantVoltageSource

ZHANGJian—wen，XULiu—gen，QUANJian—long，PENGChun—zeng，TUXiao-jun

(AVICSuzhouChangfengAvionicsCo．，Ltd．，Suzhou215151，China)

Abstract：Inordertotheoreticallystudytheeffectoftemperatureonoutputcharacteristicsofsiliconpiezoresis—

tivepressuresensorandthecompensationruleofWheatstonebridgeinseriesandparallelmodelwithNTC

thermistorcircuit，theanalyticalmodelwithpressureandtemperaturevariablesisestablished．Outputcharac—

teristicsofsiliconpiezoresistivepressuresensorunder10Vconstantpressureexcitionareresearchedtheoreti—

callyandthetemperaturecoefficientsofmilitaryandcivilpressuresensorsarecomparedandanalyzed．Result

provesitisfeasibleandeffectiveaftercomparisonandanalysisoftheoreticalcalculationandnumericalsimula—

tionthroughthemeasurementoftemperaturecoefficientofresistanceandthederivationofequivalentBvalue，

whichprovidesthetheoreticalreferenceforactualtemperaturecompensationunderconstantpressureexcitation．

Keywords：siliconpiezoresistance；pressuresensor；constantvoltageexcitation；temperaturecompensation；

thermistor

70～100cC-41

硅压阻压力传感器技术较为成熟，通常由扩散硅。而且数字式的软件补偿除基于集成