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蓝宝石衬底材料抛光液.doc

蓝宝石衬底材料抛光液.doc

    蓝宝石衬底材料抛光液

    原料配比

    原料

    配比（质量份）

    1#

    2#

    3#

    4#

    5#

    浓度50%，粒径20~40nm硅溶胶

    40

    －

    －

    －

    －

    浓度40%，粒径15~20nm硅溶胶

    －

    2000

    －

    －

    －

    浓度30%，粒径25~30nm硅溶胶

    －

    －

    3600

    －

    －

    浓度20%，粒径20~30nm硅溶胶

    －

    －

    －

    800

    －

    浓度5%，粒径30~40nm硅溶胶

    －

    －

    －

    －

    2000

    碱性调节剂

    KOH

    40

    24

    20

    40

    24

    乙二胺四乙酸四（四羟乙基乙二胺）

    520

    154

    90

    200

    154

    醚醇类活性剂

    FA/O表面活性剂

    400

    32

    10

    －

    －

    OII-7

    －

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