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·64·《测控技术)2014年第33卷第3期

硅微阵列陀螺仪闭环驱动控制技术研究

张印强，王寿荣

(1．东南大学微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室，江苏南京210096；

2．南京工业大学自动化与电气工程学院，江苏南京210009)

摘要：为了进一步提高硅微阵列陀螺仪驱动模态的控制精度与稳定性，深入分析了硅微阵列陀螺仪的结

构设计和闭环驱动控制技术。基于硅微阵列陀螺仪闭环驱动控制的特点，以现场可编程门阵列(FP．

GA)为核心控制平台，实现一种基于自激振荡原理的数字化闭环驱动电路。分析并建立了自激振荡与

幅度控制的基本模型，基于Simulink实现了闭环自激驱动的仿真。实验结果表明，常温下驱动幅度控制

精度达到9×10一，并能有效跟踪驱动模态谐振频率。

关键词：硅微阵列陀螺仪；自激驱动；闭环控制；数字移相

中图分类号：V241．5文献标识码：A文章编号：1000—8829(2014)03—0064—04

ResearchonClosed-LoopDrivingTechnologyforSilicon

Micro．GyroscopeArray

ZHANGYin—qiang一．WANGShou．rong

(1．KeyLaboratoryofMicro—InertialInstrumentandAdvancedNavigationTechnologyof

MinistryofEducation，SoutheastUniversity，N肌jing210096，China；

2．CollegeofAutomationandElectricalEngineering，NamingTechUniversity，Naming210009，China)

Abstract：Thestructuredesignandclosed-loopdrivingtechniquesofasiliconmicro—gyroscopearray(SMGA)

arestudiedindetailtoimprovetheperformanceandstabilityoftheprimarymodecontro1．Basedonthecharac—

teristicsoftheclosed—loopdrivingcontrolofSMGA，anewdigitalclosed-loopdrivingcircuitthatisbasedon

theself-oscillationprincipleandcontrolledbyfieldprogramminggatearray(FPGA)isproposed．Themodels

fortheself-oscillationandamplitudecontrolareanalyzedandestablished，thenthesimulationmodelusing

Simulinksoftwareispresented．Thetestresultshowsthattheprecisionoftherelativedeviationoftheoscillating

amplitudeisupto9×10。。andthedrivingrfequencycaneffectivelyfollowthechangeoftheresonantrfequen-

cy·

Keywords：siliconmicro·g·yroscopearray；self-oscillation；closed--loopcontrol；digitalphase-—shift

与传统的陀螺仪相比，硅微机械陀螺仪具有体积效途径之一。为了保证陀螺的检测精度，提高驱动频

小、重量轻、成本低、易批量生产等优点，在汽车驾驶、率跟踪和振动幅值的稳定性成为陀螺仪驱动控制中迫