化学机械抛光液42.docVIP

化学机械抛光液

原料配比

原料

配比（质量份）

1#

2#

3#

4#

5#

6#

7#

8#

9#

10#

11#

12#

研

磨

颗

粒

SiO2(20nm)

3

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

SiO2(35nm)

－

2

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

SiO2(45nm)

－

－

1

－

－

－

－

－

－

－

－

－

SiO2(50nm)

－

－

－

1.5

－

－

－

－

－

－

－

－

SiO2(60nm)

－

－

－

－

1

－

－

－

－

－

－

－

SiO2(70nm)

－

－

－

－

－

1

1

－

－

－

－

－

Al2O3(30nm)

－

－

－

－

－

－

－

0.5

－

－

－

－

CeO2(50nm)

－

－

－

－

－

－

－

－

0.1

－

－

－

TiO2(120nm)

－

－

－

－

－

－

－

－

－

0.5

－

－

SiO2(150nm)

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

1

－

SiO2(80nm)

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

2

腐

蚀

抑

制

剂

4-氨基-1,2,4-三氮唑

5

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

苯并三氮唑

－

0.0005

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

5-氨基-1H-四氮唑

－

－

0.005

－

－

－

－

－

－

－

－

－

1,2,4-三氮唑

－

－

－

2

－

－

－

－

－

－

－

－

1-苯基-5-巯基-四氮唑

－

－

－

－

0.02

－

－

－

－

－

－

－

2-巯基-苯并噻唑

－

－

－

－

－

0.01

－

－

－

－

－

－

2,3-二氨基吡啶

－

－

－

－

－

－

0.5

－

－

－

－

－

2-吡啶甲酸

－

－

－

－

－

－

－

0.5

－

－

－

－

5-羧基苯并三氮唑

－

－

－

－

－

－

－

－

0.001

－

－

－

苯并咪唑

－

－

－

－

－

－

－

－

－

0.005

－

－

5-苯基四氮唑

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

0.5

－

2-巯基-苯并咪唑

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

0.08

第

一

络

合

剂

甘氨酸

10

0.01

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

丙氨酸

－

－

0.8

－

－

－

－

－

－

－

－

－

缬氨酸

－

－

－

1

－

－

－

－

－

－

－

－

亮氨酸

－

－

－

－

1

－

－

－

－

－

－

－

色氨酸

－

－

－

－

－

2

－

－

－

－

－

－

蛋氨酸

－

－

－

－

－

－

3

－

－

－

－

－

天冬氨酸

－

－

－

－

－

－

－

3

－

－

－

－

苯丙氨酸

－

－

－

－

－

－

－

－

2

－

－

－

苏氨酸

－

－

－

－

－

－

－

－

－

2

－

－

天冬酰胺

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

2

－

丝氨酸

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

2

第

二

络

合

剂

草酸

0.5

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

丁二酸

－

0.01

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

丙二酸

－

－

0.1

－

－

－

－

－

－

－

－

－

苹果酸

－

－

－

0.2

－

－

－

－

－

－

－

－

乳酸

－

－

－

－

0.3

－

－

－

－

－

－

－

没食子酸

－

－

－

－

－

0.5

－

－

－

－

－

－

磺基水杨酸

－

－

－

－

－

－

0.5

－

－

－

－

－

醋酸

－

－

－

－

－

－

－

0.5

－

－

－

－

柠檬酸铵

－

－

－

－

－

－

－

－

0.2

－

－

－

酒石酸钾

－

－

－

－

－

－

－

－

－

0.2

－

－

2-膦酸丁烷基-1,2,4-三羧酸

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

0.2

－

乙二胺四亚甲基膦酸

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

0.8

氧

化

剂

过硫酸铵

0.05

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

过氧甲酸

－

5

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

高锰酸钾

－

－

3

－

－

－

－

－

－

－

－

－

硝酸铁

－

－

－

0.5

－

－

－

－

－

－

－

－

过氧化脲

－

－

－

－

5

－

－

－

－

－

－

－

高碘酸

－

－

－

－

－

8

－

－

－

－

－

－

过氧乙酸

－

－

－

－

－

－

10

－

5

－

－

－

过氧化氢

－

－

－

－

－

－

－

1

－

－

3

4

过硫酸钾

－

－

－

－

－

－

－

－

－

0.5

－

－

水

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

续上表

原料

配比（质量份）

13#

14#

15#

16#

17#

18#

19#

20#

21#

22