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面向PZT驱动器的纳米位移传感器微信号检测处理系统的创新设计与研究

一、引言

1.1研究背景

在现代工业的精密制造与科学研究前沿领域，对微小位移的精确控制和测量的需求愈发迫切。压电陶瓷（PZT）驱动器凭借其卓越的特性，如高位移精度、快速的响应速度、较低的功耗以及可小型化的优势，在微纳米定位领域得到了极为广泛的应用，成为实现高精度微小位移控制的关键元件，在光学系统的精密对焦、半导体制造中的光刻技术、生物医学中的细胞操作以及原子力显微镜等众多高端技术领域发挥着不可替代的作用。例如在先进的光刻机设备中，PZT驱动器负责精确控制光刻镜头的位置，其位移精度直接影响芯片的制造精度，决定着芯片的性能和