CN120064161A 光纤端面检测仪校准装置及制作方法 （广州计量检测技术研究院）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120064161A(43)申请公布日2025.05.30

(21)申请号202510275994.6

(22)申请日2025.03.07

(71)申请人广州计量检测技术研究院

地址510663广东省广州市黄埔区科学城

尖塔山路19号

(72)发明人杨昭信吕雅琪古耀达邝俊杰

何冠婷

(74)专利代理机构广州广典知识产权代理事务

所(普通合伙)44365

专利代理师徐训文(51Int.CL.

GO1N21/27(2006.01)

GO1N21/01(2006.01)

权利要求书2页说明书6页附图7页

(54)发明名称

光纤端面检测仪校准装置及制作方法

(57)摘要

CN120064161A本发明公开了一种光纤端面检测仪校准装置及制作方法，包括多个校准器，校准器包括透明的基板，在基板上蚀刻形成校准区和视场区，校准区位于视场区内，视场区具有第一涂层，校准区内模拟缺陷组件，模拟缺陷组件具有第二涂层；多个校准器包括用于校准测量误差及测量重复性的第一校准器、用于校准缺陷所在区域判别符合性的第二校准器、用于校准视场范围判别符合性的第三校准器。制作方法包括在透明的基板上制作金属涂层；在具有金属涂层的基板表面，采用激光光刻曝光技术进行蚀刻，形成模拟缺陷组件，将基板切割成目标尺寸，获得校准器，不同模拟缺陷组件的多个校准器构成光纤端面检测

CN120064161A

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CN120064161A权利要求书1/2页

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1.光纤端面检测仪校准装置，其特征在于，包括：

多个校准器，所述校准器包括透明的基板，在所述基板上蚀刻形成校准区和视场区，所述校准区位于所述视场区内，所述视场区具有第一涂层，所述校准区内具有蚀刻形成的模拟缺陷组件，所述模拟缺陷组件具有第二涂层；

所述多个校准器包括用于校准测量误差及测量重复性的第一校准器、用于校准缺陷所在区域判别符合性的第二校准器、用于校准视场范围判别符合性的第三校准器。

2.如权利要求1所述的光纤端面检测仪校准装置，其特征在于，所述第一校准器包括用于校准斑点直径的测量误差及测量重复性的第一测量校准器和用于校准划痕线宽的测量误差及测量重复性的第二测量校准器。

3.如权利要求2所述的光纤端面检测仪校准装置，其特征在于，所述第一测量校准器中的模拟缺陷组件包括多个圆形块，所述圆形块在光纤端面检测仪中成像为圆斑，所述圆斑的直径为2μm、3μm、5μm、25μm中的一种。

4.如权利要求2所述的光纤端面检测仪校准装置，其特征在于，所述第二测量校准器中的模拟缺陷组件包括多个长方形块，所述长方形块在光纤端面检测仪中成像为划痕，所述划痕的宽度为3μm或4μm。

5.如权利要求1所述的光纤端面检测仪校准装置，其特征在于，所述第二校准器包括用于校准划痕所在区域判别符合性的第一区域校准器和用于校准斑点所在区域判别符合性的第二区域校准器。

6.如权利要求5所述的光纤端面检测仪校准装置，其特征在于，所述第一区域校准器的校准区具有单模纤芯区、单模包层区、多模纤芯区和多模包层区，所述第一区域校准器的模拟缺陷组件包括至少4个长方形块，其中，一个长方形块分布于所述单模纤芯区、单模包层区，以及多模纤芯区和多模包层区，在光纤端面检测仪中成像为跨区域划痕；一个长方形块分布于所述单模纤芯区，在光纤端面检测仪中成像为单模纤芯区划痕；一个长方形块分布于单模包层区和多模纤芯区，在光纤端面检测仪中成像为单模包层区划痕或多模纤芯区划痕；一个长方形块分布于所述多模包层区，在光纤端面检测仪中成像为多模包层区划痕。

7.如权利要求5所述的光纤端面检测仪校准装置，其特征在于，所述第二区域校准器的校准区具有单模纤芯区、单模包层区、多模纤芯区和多模包层区，所述第二区域校准器的模拟缺陷组件包括至少5个圆形块，其中，一个圆形块分布于所述单模纤芯区的边界，在光纤端面检测仪中成像为单模跨区域斑点，一个圆形块分布于所述多模纤芯区的边界，在光纤端面检测仪中成像为多模跨区域斑点；一个圆形块分布于所述单模纤芯区，在光纤端面检测仪中成像为单模纤芯区斑点；一个圆形块分布于单模包层区和多模纤芯区，在光纤端面检测仪中成像为单模包层区斑点或多模纤芯区斑点；一个圆形块分布于所述多模包层区，在光纤端面检测仪中成像为多模包