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化学机械抛光液 (4).doc

化学机械抛光液 (4).doc

    化学机械抛光液

    原料配比

    原料

    配比（质量份）

    1#

    2#

    3#

    4#

    5#

    6#

    7#

    平均粒径250纳米的氧化铝

    3

    －

    －

    －

    －

    －

    －

    平均粒径40纳米的胶体二氧化硅

    －

    20

    －

    －

    －

    －

    －

    平均粒径70纳米的胶体二氧化硅

    －

    －

    －

    －

    －

    －

    10

    平均粒径200纳米的氧化铝

    －

    －

    －

    5

    －

    －

    －

    平均粒径150纳米的氧化铝

    －

    －

    －

    －

    －

    10

    －

    平均粒径为120纳米的胶体二氧化硅

    －

    －

    －

    －

    5

    －

    －

    平均粒径为20纳米的胶体二氧化硅

    －

    －

    0.5

    －

    －

    －

    －

    1,2,4-三唑

    －

    0.1

    －

    －

    －

    －

    －

    吉米奇（Gemini）

    －

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