原创力文档SiSb基相变材料用化学机械抛光液
原料配比
原料
配比（质量份）
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9#
氧化铈颗粒（10nm）
30
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氧化钛颗粒（150nm）
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2
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氧化铝颗粒（80nm）
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4
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氧化锆颗粒（100nm）
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3
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氧化钛颗粒（1500nm）
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30
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氧化硅颗粒（200nm）
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1
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氧化锆颗粒（30nm）
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6
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氧化铝颗粒（1000nm）
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