CN116833917A 一种抛光工具制作方法、抛光工具及抛光设备 （河南理工大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN116833917A(43)申请公布日2023.10.03

(21)申请号202310701171.6

(22)申请日2023.06.14

(71)申请人河南理工大学

地址454150河南省焦作市高新区世纪大

道2001号

申请人郑州财经学院

(72)发明人向道辉张志强刘一扬袁照杰彭培成宋超胜张智鹏童景琳高国富焦锋赵波

(74)专利代理机构长沙大珂知识产权代理事务所(普通合伙)43236

专利代理师王琼琦

(51)Int.CI.

B24D18/00(2006.01)

C23C16/02(2006.01)

C23C

B23K

B24D

B24B

B24B

B24B

B24B

B24B

B24B

B24B

B24B

16/27(2006.01)

26/352(2014.01)

7/18(2006.01)

29/00(2006.01)

55/02(2006.01)

55/03(2006.01)41/06(2012.01)

49/00(2012.01)51/00(2006.01)45/00(2006.01) 1/04(2006.01)

权利要求书2页说明书7页附图3页

(54)发明名称

一种抛光工具制作方法、抛光工具及抛光设备

(57)摘要

本发明公开一种抛光工具制作方法、抛光工具及抛光设备，以高效实现模具钢镜面抛光的效果。包括以下步骤：提供硬质合金球头，在硬质合金球头的表面加工微织构，以获得织构化硬质合金球头；对织构化硬质合金球头进行超声酸碱预处理；采用热丝化学气相沉积方法在织构化硬质合金球头表面沉积金刚石涂层，以获得抛光工

CN

CN116833917A

提供硬质合金球头，在硬质合金球头的表面加工微织构，以获得织构

化硬质合金球头；

对织构化硬质合金球头进行超声酸碱预处理：

在织构化硬质合金球头表面沉积金刚石涂层，以获得抛光工具。

S1

S2

CN116833917A权利要求书1/2页

2

1.一种抛光工具制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

提供硬质合金球头，在所述硬质合金球头的表面加工微织构，以获得织构化硬质合金球头；

对所述织构化硬质合金球头进行超声酸碱预处理；

在所述织构化硬质合金球头表面沉积金刚石涂层，以获得抛光工具。

2.根据权利要求1所述的抛光工具制作方法，其特征在于，在所述硬质合金球头的表面加工微织构包括以下步骤：

采用激光打标机按照预设扫描次数N在所述硬质合金球头的表面加工微织构，4≤N≤6;所述微织构为同心圆微织构，所述同心圆微织构的深度为D,30μm≤D≤50μm。

3.根据权利要求2所述的抛光工具制作方法，其特征在于，所述激光打标机的加工参数为Vc=100mm/s～150mm/s,P=65%～75%,f=20KHz～25KHz。

4.根据权利要求1所述的抛光工具制作方法，其特征在于，所述对织构化硬质合金球头进行超声酸碱预处理包括：

将所述织构化硬质合金球头放置在碱溶液中，并利用超声波清洗机按照预设时间T?对所述织构化硬质合金球头进行清洗；

将所述织构化硬质合金球头放置在酸性溶液中，并利用超声波清洗机按照预设时间T?对所述织构化硬质合金球头进行清洗；

将所述织构化硬质合金球头放置在具有金刚石研磨粉的混合溶液中，并利用超声波清洗机按照预设时间T?对所述织构化硬质合金球头进行研磨和清洗。

5.根据权利要求4所述的抛光工具制作方法，其特征在于，20min≤T?≤30min,20s≤T?≤40s,5min≤T?≤15min;和/或，

所述酸性溶液为Caros酸，所述碱溶液为铁氰化钾和氢氧化钾混合液，所述混合溶液为金刚石研磨粉和丙酮的混合溶液。

6.根据权利要求1所述的抛光工具制作方法，其特征在于，采用热丝化学气相沉积方法在所述织构化硬质合金球头表面沉积金刚石涂层，以获得抛光工具包括：

S30.提供热丝化学气相沉积设备，利用工装将所述织构化硬质合金球头放置在热丝化学气相沉积设备所具有的真空腔内，此时，所述热丝化学气相沉积设备所具有的M根热丝位于所述织构化硬质合金球头的正上方，且垂直距离为H?,10mm≤H?≤15mm;M根热丝之间的间距为H?,25mm≤H?≤30mm;

S31.利用所述热丝化学气相沉积设备在织构化硬质合金球头表面沉积一层硅掺杂微米金刚石薄膜；