CN116960715A 一种基于非共线相位匹配原理实现波长宽调谐的四镜环形腔光参量振荡器及其制作方法 （山东大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN116960715A(43)申请公布日2023.10.27

(21)申请号202310916305.6

(22)申请日2023.07.25

(71)申请人山东大学

地址250100山东省济南市历城区山大南

路27号

(72)发明人刘兆军杨泽齐刘高佑丛振华赵智刚

(74)专利代理机构济南金迪知识产权代理有限公司37219

专利代理师杨树云

(51)Int.CI.

H01S3/083(2006.01)

H01S3/108(2006.01)

权利要求书2页说明书4页附图3页

(54)发明名称

一种基于非共线相位匹配原理实现波长宽调谐的四镜环形腔光参量振荡器及其制作方法(57)摘要

CN116660715A本发明涉及一种基于非共线相位匹配原理实现波长宽调谐的四镜环形腔光参量振荡器及其制作方法，包括沿光路依次顺序放置的第一45度0PO输入镜、KTA晶体、第二45度OPO输入镜、第三45度0PO输入镜、45度0PO输出耦合镜。本发明依据非共线相位匹配在光参量振荡器波长调谐的优势，创新性地提出一种在四镜环形腔结构下，实现参量光振荡路径与泵浦光路径非共线的方法，仅通过对环形腔的一个腔镜添加一维位移平台进行平移操作，就可以实现不同非共线角度相位匹配下的可调谐的参量光输出；并且在与镜片法线平行的方向进行前向和后向位移均可得

CN116660715A

CN116960715A权利要求书1/2页

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1.一种基于非共线相位匹配原理的波长可调谐四镜环形腔光参量振荡器，其特征在于，包括沿光路依次顺序放置的第一45度OPO输入镜、KTA晶体、第二45度OPO输入镜、第三45度0PO输入镜、45度OPO输出耦合镜；

泵浦光准直后入射到KTA晶体表面，产生非线性频率变换，调整第一45度0PO输入镜、第二45度OPO输入镜、第三45度OPO输入镜、45度0P0输出耦合镜的角度，实现参量光输出。

2.根据权利要求1所述的一种基于非共线相位匹配原理的波长可调谐四镜环形腔光参量振荡器，其特征在于，所述第一45度0PO输入镜、第二45度OPO输入镜、第三45度OPO输入镜、45度0PO输出镜均为平面镜，且均与光路成45度夹角放置，构成四镜环形腔，所有腔镜中心连线构成矩形。

3.根据权利要求1所述的一种基于非共线相位匹配原理的波长可调谐四镜环形腔光参量振荡器，其特征在于，所述KTA晶体采用铟箔包裹，放置在夹具上进行夹紧固定。

4.根据权利要求1所述的一种基于非共线相位匹配原理的波长可调谐四镜环形腔光参量振荡器，其特征在于，所述第一45度OP0输入镜、所述第二45度OP0输入镜、第三45度0PO输入镜均一面镀有覆盖1064nm波长高透过率膜层，另一面镀有覆盖1064nm波长增透膜和覆盖

1.5μm波段高反射率膜层。

5.根据权利要求1所述的一种基于非共线相位匹配原理的波长可调谐四镜环形腔光参量振荡器，其特征在于，所述45度OPO输出耦合镜一面镀有1064nm高透过率膜层和1.5μm部分透过率膜层，另一面镀有覆盖1064nm波长增透膜和覆盖1.5μm波段高透过率膜层。

6.根据权利要求1所述的一种基于非共线相位匹配原理的波长可调谐四镜环形腔光参量振荡器，其特征在于，所述KTA晶体满足非临界相位匹配状态，所述KTA晶体沿X方向切割，切割角度为θ=90°,φ=0°,θ为波矢k与所述KTA晶体光轴的角度，④为泵浦光对于所述KTA晶体的入射角。

7.根据权利要求1所述的一种基于非共线相位匹配原理的波长可调谐四镜环形腔光参量振荡器，其特征在于，所述KTA晶体为长方体。

8.根据权利要求1-7任一所述的一种基于非共线相位匹配原理的波长可调谐四镜环形腔光参量振荡器，其特征在于，所述第三45度OPO输入镜安装在一维位移台上，进行平移操作。

9.权利要求1-8任一所述的波长可调谐四镜环形腔光参量振荡器的制作方法，其特征在于，包括：

(1)将第一45度0PO输入镜、第二45度OPO输入镜、第三45度0PO输入镜、45度OPO输出耦合镜安装在镜架上；

(2)将KTA晶体用铟箔包裹，然后放置在夹具上进行夹紧固定；

(3)将第一45度OP0输入镜、KTA晶体、第二45度0P0输入镜、第三45度0PO输入镜、45度OPO输出耦合镜依次按序放置固定，使得所有器件的中心连线与光轴重合；

(4)将106