半导体生物传感器 无透镜CMOS光子阵列传感器噪声评估方法.docx

《半导体生物传感器无透镜CMOS光子阵列传感器噪声评估方法》标准立项与发展研究报告

EnglishTitle:ResearchReportontheStandardizationDevelopmentof“SemiconductorDevices–Part18-4:SemiconductorBiosensors–NoiseEvaluationMethodforLenslessCMOSPhotonicArraySensors”

摘要

本报告旨在系统阐述国家标准《半导体器件第18-4部分：半导体生物传感器无透镜CMOS光子阵列传感器噪声评估方法》的立项背景、核心内容、技术价值及产业意义。随着生命科学、精准医疗及即时检测（POCT）领域的飞速发展，基于无透镜CMOS光子阵列的生物传感器技术以其微型化、低成本、高通量等颠覆性优势，正成为细胞观测、病原体检测等应用的关键工具。然而，该技术的成像质量与定量分析精度高度依赖于传感器自身的噪声特性，而国内外尚无针对此类专用传感器噪声评估的统一标准，制约了产业的规范化发展与产品的性能互认。本标准的制定旨在填补这一空白，通过科学定义试验条件、规范空间噪声（如固定模式噪声FPN）与时间噪声（如暗电流噪声、读出噪声）的测试流程与计算方法，为传感器设计、制造、应用及质量评价提供权威的技术依据。报告分析指出，该标准的实施将有效提升我国在该前沿领域的技术话语权，引导产业链上下游协同创新，保障产品质量，加速无透镜生物传感技术在基层医疗、药物研发、环境监测等场景的规模化、高可靠性应用，对推动我国高端生物医学仪器装备的自主可控发展具有重要的战略意义。

关键词：

半导体生物传感器；无透镜成像；CMOS光子阵列；噪声评估；标准化；固定模式噪声；时间噪声；性能测试

Keywords:

SemiconductorBiosensor;LenslessImaging;CMOSPhotonicArray;NoiseEvaluation;Standardization;FixedPatternNoise(FPN);TemporalNoise;PerformanceTesting

正文

1.引言：技术演进与标准化需求

生物传感器作为连接物理世界与生命信息的关键接口，在疾病诊断、药物筛选、食品安全及环境监控等领域发挥着不可替代的作用。根据行业分析数据，2021年全球生物传感器市场规模已达约1387.47亿元人民币，中国市场亦突破106.28亿元，呈现出强劲的增长态势。其中，基于无透镜CMOS光子阵列的生物传感器技术，是近年来涌现出的革命性方向。

该技术摒弃了传统显微镜复杂、精密的光学透镜组，直接将生物样本（如细胞、微生物）产生的散射光或荧光衍射图案记录在高密度的CMOS图像传感器阵列上，通过计算成像算法重构出样本信息。其核心优势在于：微型化（体积可降至传统显微镜的0.8%）、低成本（成本约为传统显微镜的1/10）、大视场与高通量（市场潜力预估可达传统显微镜的200倍），并支持活细胞的无标记、动态三维观测，极大地降低了专业门槛，使在资源有限地区（如基层诊所、野外现场）进行高质量生物检测成为可能。

全球范围内，以美国加州大学洛杉矶分校（UCLA）、比利时微电子研究中心（imec）、韩国SOL公司等为代表的科研机构与企业已推出原型机或商业化产品。我国在该领域的研究与产业化进程迅猛，浙江大学、上海交通大学等高校，以及南京威派视、宁波永新光学、江丰生物等一批高新技术企业已成功研发出细胞分析仪、活细胞监测系统等产品，部分技术处于国际领先地位。

然而，产业的蓬勃发展也暴露出标准缺失的短板。无透镜CMOS光子阵列传感器的噪声性能（包括由制造工艺不均引起的空间噪声和由光子散粒、暗电流等引起的时间噪声）是决定其最终成像对比度、信噪比（SNR）和检测限（LOD）的核心因素。目前，国内尚无专门针对此类传感器噪声特性进行评估的国家或行业标准，导致不同厂商的产品性能指标无法横向比较，用户选型缺乏依据，研发改进方向不明，严重影响了产品质量的持续提升与市场的有序竞争。因此，制定一项科学、统一的噪声评估方法标准，已成为推动该产业从实验室创新走向规模化、高质量应用的迫切需求。

2.标准的核心技术内容解析

本标准《半导体器件第18-4部分：半导体生物传感器无透镜CMOS光子阵列传感器噪声评估方法》聚焦于为无透镜CMOS光子阵列传感器建立一套完整、可重复的噪声特性评估体系。其主要技术内容架构如下：

2.1范围界定

本文件明确规定其适用于无透镜CMOS光子阵列传感器（专为生物传感应用设计，直接接收样本衍射/荧光信号）的噪声特性评估。标准中定义的评估方法，旨在量化传感器在无透镜