CN115406863A 一种集成光波导生物传感器及其制作方法 （西安电子科技大学杭州研究院）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN115406863A(43)申请公布日2022.11.29

(21)申请号202211054088.6

(22)申请日2022.08.31

(71)申请人西安电子科技大学杭州研究院

地址311231浙江省杭州市萧山区钱农东

路8号

(72)发明人范元龙安甲林史腾吴俊琳李轩黄彬邵晓鹏

(74)专利代理机构杭州浙科专利事务所(普通合伙)33213

专利代理师孙孟辉

(51)Int.CI.

GO1N21/41(2006.01)

GO1N21/45(2006.01)

GO1N21/75(2006.01)

GO1N21/17(2006.01)

权利要求书3页说明书8页附图4页

(54)发明名称

一种集成光波导生物传感器及其制作方法

(57)摘要

CN115406863A本发明属于生物传感器技术领域，公开了一种集成光波导生物传感器机器制作方法。此生物传感器包括尾纤半导体激光器、双微透镜和光波导。所述光波导内具有一条脊型波导芯，所述双微透镜包括第一微透镜和第二微透镜，所述尾纤半导体激光器的尾端具有第一微透镜，所述脊型波导芯的始端具有第二微透镜，所述第一微透镜对准第二微透镜，所述脊型波导芯的末端具有分布式布拉格反射镜。本发明的光波导既保留了传统干涉类光波导的高灵敏度，又具有结构简单，制造可重复性高的特点，此外，本发明的光耦合方法，实现了光源与光波导，光波导与光探测器

CN115406863A

CN115406863A权利要求书1/3页

2

1.一种集成光波导生物传感器，其特征在于，包括尾纤半导体激光器(1)、双微透镜(2)和光波导(3),所述光波导(3)内具有一条脊型波导芯(36);所述双微透镜(2)包括第一微透镜(21)和第二微透镜(22),所述尾纤半导体激光器(1)的尾端具有第一微透镜(21),所述脊型波导芯(36)的始端具有第二微透镜(22),所述第一微透镜(21)对准第二微透镜(22),所述脊型波导芯(36)的末端具有分布式布拉格反射镜(37);所述尾纤半导体激光器(1)用于发射激光并接收脊型波导芯(36)的反馈光；所述双微透镜(2)用于激光互耦合；所述光波导(3)用于传导激光并反射携带了待测分析物的信息的反馈光。

2.根据权利要求1所述的集成光波导生物传感器，其特征在于，所述尾纤半导体激光器(1)包括尾纤包层(11)和尾纤芯层(12),所述尾纤包层(11)包覆在尾纤芯层(12)外；所述光波导(3)包括衬底(31)、波导下夹层(32)、波导芯层(33)和波导上夹层(34)、传感区间(35)和脊型波导芯(36);所述衬底(31)位于最下层，所述衬底(31)之上为波导下夹层(32)、所述波导下夹层(32)之上为波导芯层(33),所述波导芯层(33)之上为波导上夹层(34),所述脊型光波导(3)在波导上夹层(34)内，所述波导上夹层(34)顶部打开一窗口作为传感区间(35)。

3.根据权利要求2所述的集成光波导生物传感器，其特征在于，所述衬底(31)为硅，所述波导芯层(33)为氮化硅，所述波导下夹层(32)和波导上夹层(34)为二氧化硅，所述脊型光波导(3)为氮化硅的绝缘材料。

4.一种如权利要求1-3任一项所述的集成光波导生物传感器的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1:设计并制造末端带有分布式布拉格反射镜(37)的脊型波导芯(36);

步骤2:设计并制造双微透镜(2),集成尾纤半导体激光器(1)和光波导(3);

步骤3:表征一种基于激光自混合干涉效应的集成光波导生物传感器；

步骤4:验证一种基于激光自混合干涉效应的集成光波导生物传感器。

5.根据权利要求4所述的集成光波导生物传感器的制作方法，其特征在于，所述步骤1包括如下具体步骤：

步骤1.1设计光波导(3);

首先通过使用Matlab求解带反馈激光速率方程，获得带反馈半导体激光器的稳定区间；然后再根据获得的稳定区间，使用商用软件COMSOLMultiphysics进行全3D数值模拟光波导(3)的模式传播特性；通过优化波导结构参数，包括脊长度，脊高度，脊宽度，DBR层数、层高及每层之间间隔长度，以保证基模在波导中完成低损耗传播并反射的同时，倏逝波的渗入深度d,也能