CN114883907A 一种可实现端面低粗糙度的激光器结构及其制作方法 （天津华慧芯科技集团有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN114883907A(43)申请公布日2022.08.09

(21)申请号202210783937.5

(22)申请日2022.07.05

(71)申请人天津华慧芯科技集团有限公司

地址300467天津市滨海新区生态城中天

大道1620号生态科技园启发大厦12层

101

(72)发明人陈帅乔石珺宋学颖于帅李玉源杨磊于坤鹏庞传青陈景春

(74)专利代理机构天津市鼎和专利商标代理有限公司12101

专利代理师蒙建军

(51)Int.CI.

HO1S5/02(2006.01)

HO1S5/028(2006.01)

权利要求书2页说明书7页附图5页

(54)发明名称

一种可实现端面低粗糙度的激光器结构及其制作方法

(57)摘要

CN114883907A本发明公开了一种可实现端面低粗糙度的激光器结构及其制作方法，属于集成光学技术领域，从下到上依次包括：第二陪片、下黏着固定层、下涂覆缓冲层、下电施加层、衬底层、过渡层、功能层、上包层、上电施加层、上涂覆缓冲层、上黏着固定层和第一陪片；衬底层用于支撑