CN115196585A 一种磁控微纳机器人及其制作方法、用途 （南方科技大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN115196585A(43)申请公布日2022.10.18

(21)申请号202210614325.3

(22)申请日2022.06.01

(71)申请人南方科技大学

地址518055广东省深圳市南山区桃源街

道学苑大道1088号

(72)发明人郑裕基王昊英方力军

(74)专利代理机构广州嘉权专利商标事务所有限公司44205

专利代理师周调云

(51)Int.CI.

B81C1/00(2006.01)

B81B5/00(2006.01)

B25J11/00(2006.01)

H01F41/14(2006.01)

权利要求书1页说明书6页附图3页

(54)发明名称

一种磁控微纳机器人及其制作方法、用途

(57)摘要

CN115196585A本发明属于微纳机器人技术领域，特别涉及一种磁控微纳机器人及其制作方法、用途。该磁控微纳机器人的制作方法包括如下步骤：在基板表面涂覆磁性材料分散溶液，形成磁性层；所述磁性材料分散溶液为Fe?O4的γ-丁内酯(GBL)溶液；在所述磁性层表面涂覆光刻胶，进行光刻，得到磁控微纳机器人。本发明的制作方