CN114489311A 触觉反馈结构及制作方法、触摸显示面板、触摸显示装置 （京东方科技集团股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN114489311A(43)申请公布日2022.05.13

(21)申请号202011145301.5

(22)申请日2020.10.23

(71)申请人京东方科技集团股份有限公司

地址100015北京市朝阳区酒仙桥路10号

(72)发明人陈右儒

(74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限公司11243

专利代理师许静张博

(51)Int.CI.

GO6F3/01(2006.01)

GO6F3/041(2006.01)

权利要求书2页说明书7页附图4页

(54)发明名称

触觉反馈结构及制作方法、触摸显示面板、触摸显示装置

(57)摘要

CN114489311A本发明提供了一种触觉反馈结构及制作方法、触摸显示面板、触摸显示装置，属于显示技术领域。其中，触觉反馈结构包括：基底；位于所述基底上的面状形变单元，所述形变单元包括第一透明电极、第二透明电极以及位于所述第一透明电极与所述第二透明电极之间的电致伸缩材料，当在所述第一透明电极与所述第二透明电极之间施加电压时，所述形变单元发生形变；位于所

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1.一种触觉反馈结构，其特征在于，包括：

基底；

位于所述基底上的面状形变单元，所述形变单元包括第一透明电极、第二透明电极以及位于所述第一透明电极与所述第二透明电极之间的电致伸缩材料，当在所述第一透明电极与所述第二透明电极之间施加电压时，所述形变单元发生形变；

位于所述形变单元远离所述基底一侧的应变规结构。

2.根据权利要求1所述的触觉反馈结构，其特征在于，所述电致伸缩材料包括压电陶瓷。

3.根据权利要求1所述的触觉反馈结构，其特征在于，所述电致伸缩材料的厚度为2-20um。

4.根据权利要求1所述的触觉反馈结构，其特征在于，所述基底与所述形变单元之间通过聚二甲基硅氧烷PDMS贴合在一起；和/或

所述应变规结构与所述形变单元之间通过PDMS贴合在一起。

5.根据权利要求1所述的触觉反馈结构，其特征在于，还包括：

位于所述应变规结构远离所述基底一侧的保护膜。

6.一种触摸显示面板，其特征在于，包括如权利要求1-5中任一项所述的触觉反馈结构，还包括触摸屏和显示面板，所述触摸屏设置在所述显示面板的显示侧，所述触觉反馈结构设置在所述触摸屏背向所述显示面板的一侧。

7.一种触摸显示装置，其特征在于，包括权利要求6所述触摸显示面板。

8.一种触觉反馈结构的制作方法，其特征在于，包括：

提供一蓝宝石衬底；

在所述蓝宝石衬底上生长电致伸缩材料；

在所述电致伸缩材料远离所述蓝宝石衬底的一侧形成第一透明电极；

将所述第一透明电极远离所述蓝宝石衬底的一侧与基底进行贴合；

将所述电致伸缩材料与所述蓝宝石衬底剥离；

在所述电致伸缩材料远离所述第一透明电极的一侧形成第二透明电极；

在所述第二透明电极远离所述电致伸缩材料的一侧形成应变规结构。

9.根据权利要求8所述的触觉反馈结构的制作方法，其特征在于，所述电致伸缩材料包括压电陶瓷薄膜，在所述蓝宝石衬底上生长电致伸缩材料之后，所述方法还包括：

对所述压电陶瓷薄膜在大于650℃的温度下进行空气退火，空气退火时间不小于一小

时。

10.根据权利要求8所述的触觉反馈结构的制作方法，其特征在于，所述将所述第一透明电极远离所述蓝宝石衬底的一侧与基底进行贴合包括：

利用聚二甲基硅氧烷PDMS将所述第一透明电极与所述基底热压贴合在一起。

11.根据权利要求8所述的触觉反馈结构的制作方法，其特征在于，所述在所述第二透明电极远离所述电致伸缩材料的一侧形成应变规结构包括：

利用PDMS将所述第二透明电极与所述应变规结构热压贴合在一起。

12.根据权利要求8所述的触觉反馈结构的制作方法，其特征在于，所述将所述电致伸缩材料与所述蓝宝石衬底剥离包括：

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利用波长为230-260nm的激光将所述电致伸缩材料从所述蓝宝石衬底上剥离。

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