CN114488550A 红外多角度连续可变分光比镀膜氟化物分光镜及制作方法 （秦皇岛本征晶体科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN114488550A(43)申请公布日2022.05.13

(21)申请号202210088974.4

(22)申请日2022.01.25

GO3F7/20(2006.01)

(71)申请人秦皇岛本征晶体科技有限公司

地址066000河北省秦皇岛市秦皇岛经济

技术开发区西湖路1号

(72)发明人刘畅徐悟生姜劭华熊加丽朱逢旭周方赵玲王玉洁

(74)专利代理机构苏州德坤知识产权代理事务所(普通合伙)32523

专利代理师查杰

(51)Int.CI.

GO2B27/10(2006.01)

GO2F1/01(2006.01)

GO2B1/11(2015.01)

GO3F7/16(2006.01)

权利要求书2页说明书4页附图4页

(54)发明名称

红外多角度连续可变分光比镀膜氟化物分光镜及制作方法

(57)摘要

CN114488550A本发明公开了一种红外多角度连续可变分光比镀膜氟化物分光镜，包括氟化钡平片，在氟化钡平片两个表面上分别镀制有增透膜和调光膜，所述调光膜由多个二氧化钒薄膜块和氟化钡薄膜块配合镀制而成，二氧化钒薄膜块表面上镀制有电制热材料，电制热材料用于加热二氧化钒薄膜块；还公开一种制备方法，通过光刻技术镀制二氧化钒薄膜块和氟化钡薄膜块形成调光膜。

CN114488550A

CN114488550A权利要求书1/2页

2

1.一种红外多角度连续可变分光比镀膜氟化物分光镜，其特征在于，包括氟化钡平片，在氟化钡平片两个表面上分别镀制有增透膜和调光膜，所述调光膜由多个二氧化钒薄膜块和氟化钡薄膜块配合镀制而成，二氧化钒薄膜块表面上镀制有电制热材料，电制热材料用于加热二氧化钒薄膜块。

2.如权利要求1所述的红外多角度连续可变分光比镀膜氟化物分光镜及其制作方法，其特征在于，多个二氧化钒薄膜块和多个氟化钡薄膜块在氟化钡平片表面的面积占比为3:

1。

3.如权利要求2所述的红外多角度连续可变分光比镀膜氟化物分光镜及其制作方法，其特征在于，所述氟化钡薄膜块均为三角形结构，所述二氧化钒薄膜块围绕设置在氟化钡薄膜块的三个周边上。

4.如权利要求1所述的红外多角度连续可变分光比镀膜氟化物分光镜及其制作方法，其特征在于，所述氟化钡薄膜块为蜂窝框结构，所述二氧化钒薄膜块为六边形结构。

5.如权利要求1所述的红外多角度连续可变分光比镀膜氟化物分光镜及其制作方法，其特征在于，还包括控制镜框，电制热材料上设置有电控接点，所述控制镜框内设置有与电控接点连接的连接电路，连接电路通过控制器与电源连接。

6.如权利要求1所述的红外多角度连续可变分光比镀膜氟化物分光镜及其制作方法，其特征在于，所述增透膜的波段为5-10微米，所述调光膜的厚度为0.8-1.2微米。

7.一种红外多角度连续可变分光比镀膜氟化物分光镜的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1)将氟化钡平片抛光作为基底材料；

步骤2)对氟化钡平片一侧表面均匀涂覆光刻胶；

步骤3)对光刻胶进行曝光蚀刻，将氟化钡平片表面进行部分区域暴露；

步骤4)在基片表面根据暴露的区域镀制二氧化钒薄膜块或氟化钡薄膜块；

步骤5)将光刻胶清洗后去除；当步骤4中镀制二氧化钒薄膜块时，氟化钡薄膜块对应的氟化钡平片表面区域暴露，得到未镀制区域；当步骤4中镀制氟化钡薄膜块时，二氧化钒薄膜块对应的氟化钡平片表面区域暴露，得到未镀制区域；

步骤6)再次涂覆光刻胶；

步骤7)将未镀制区域内的光刻胶蚀刻去除；

步骤8)镀制二氧化钒薄膜块或氟化钡薄膜块，当步骤4中镀制二氧化钒薄膜块时，此时镀制氟化钡薄膜块，反之镀制二氧化钒薄膜块，通过厚度控制技术使二氧化钒薄膜块和氟化钡薄膜块的厚度一致，表面处于一个水平面；

步骤9)将光刻胶清洗去除，得到调光膜；

步骤10)在调光膜表面再次涂覆光刻胶，在二氧化钒薄膜块上蚀刻并镀制电制热材料，

每个电制热材料上都具有单独的接点，将光刻胶清洗去除完成一面镀制；

步骤11)在氟化钡平片另一面镀制宽带增透膜；

步骤12)将镜片封装在一个镜框中，镜框内设置有与电控接点连接的连接电路，连接电路通过控制器与电源连接，得到分光镜。

8.如权利要求7所述的红外多角度连续可变分光比镀膜氟化物分光镜的制作方法，其特征在于，在镜面离开光路的位置，设置一红外成像