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太赫兹扫描技术（TerahertzScanning）通常指利用频率0.1–10THz（波长3mm–30μm）的电磁波对物体进行二维或三维成像/检测的方法。下面按“原理—硬件—数据流程—性能指标—典型应用—优缺点—发展趋势”七个维度为你做一份系统梳理，可直接作为技术路线或立项依据。

一、工作原理

1.频段特性

?光子能量低（meV级），不电离、对人体安全；

?对非极性/干燥材料（纸、塑料、陶瓷、复合材料、木器、油画层）穿透力强，对金属、水分高吸收。

2.两种主流体制

A.脉冲太赫兹时域系统THz-TDS（Time-DomainSpectroscopy）

–利用飞秒激光触发光导天线或DAST晶体，产生宽带0.1–4THz脉冲；

–通过光学延迟线相干采样，获取每个空间点的时域波形→傅里叶变换得到幅值+相位；

–飞行时间（ToF）可解析多层结构厚度：Δd=c·Δt/2n，典型深度分辨率10–30μm。

B.连续波调频雷达FMCW（Frequency-ModulatedContinuous-Wave）

–120/240/300GHz单频或窄带扫频（20–35GHz带宽）；

–通过拍频测距，实时给出纵向距离剖面，扫描速度20Hz，动态范围50dB。

3.近场vs远场

?远场受衍射极限，横向分辨率≈λ/2NA（300GHz约0.5mm）；

?近场采用探针耦合倏逝波，可突破极限至10–50μm，用于芯片裂纹、文物颜料层。

二、硬件构成

模块

关键技术

商用典型指标

发射源

光导天线、倍频链耿氏二极管、量子级联激光QCL

0.1–5THz可调，功率0.1–100mW

探测器

电光采样、肖特基二极管、热释电、Golaycell

NEP100pW/√Hz，带宽4THz

扫描机构

x-y-z电控平移台、振镜、旋转台、六轴机械臂

行程300mm，重复精度±1μm

光学链路

HDPE透镜、TPX、离轴抛物面镜、f-θ透镜

工作距离50–300mm，NA0.3–0.6

环境控制

充氮箱（3%RH）、温箱、防震台

湿度5%时水吸收峰明显下降

三、数据流程

1.扫描→2.时域波形/拍频信号→3.FFT→4.幅值+相位+ToF→5.2D/3D图像重建（FBP、SART、神经网络）→6.缺陷识别/层析厚度计算。

四、关键性能指标（实验室vs商用）

指标

实验室THz-TDS

商用FMCW扫描仪?

横向分辨率

50μm（近场）–0.5mm

0.7mm（300GHz，f=50mm）

深度分辨率

15μm@n=1.5

0.25mm（扫频30GHz）

扫描速率

逐点1–10Hz

20Hz（面阵）

最大厚度

5–10mm（塑料）

50mm（泡沫/木材）

动态范围

70dB

50dB

五、典型应用案例

1.罐道检测（煤矿立井）

–0.3THzFMCW扫描，对罐道与树脂填充界面进行ToF成像，成功分辨0.5mm缝隙，现场检测速度0.2m/s，无需停产（已在山东某矿工业试验）。

2.建筑与市政

–老旧小区外立面空鼓、墙体内管线定位：手持0.1THz阵列，10m距离穿透抹灰层，空鼓识别率92%。

3.航空航天

–飞机复材蜂窝夹芯脱粘：脉冲系统0.5THz，检测Φ6mm脱粘缺陷（美国空军已通过ASTME3022认证）。

4.文化遗产

–油画隐藏层、漆器分层：近场THz-TDS，层厚分辨率15μm，成功发现17世纪油画下4层草图。

5.安检与人流

–厦门邮轮码头人体安检门：0.25THz线阵，3m外无感扫描，10s/人，检出金属/液体危险品。

六、优势与限制

优势

?非电离、非接触、无需耦合剂；

?可同时获得幅值+相位+光谱信息，实现“指纹”识别；

?对大多数非极性材料可穿透，适合多层结构。

限制

?水蒸气和雨水强吸收，需干燥或氮气环境；

?空间分辨率受波长限制，远场mm级；

?系统成本仍高：实验室THz-TDS≈20–50万美元，FMCW商用扫描仪5–10万美元；

?大功率（10mW）源、室温高灵敏探测器仍在攻关。

七、技术发展趋势

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