高纯气体管路检漏技师（中级）考试试卷及答案.docVIP

高纯气体管路检漏技师（中级）考试试卷及答案

一、填空题（每题1分，共10分）

1.高纯气体管路检漏灵敏度最高的方法是______检漏法。

2.氦质谱检漏仪的核心部件是______。

3.检漏前需用______吹扫管路，去除杂质水分。

4.泄漏率常用单位有Pa·m3/s和______（体积流量单位）。

5.皂泡检漏的压力一般不超过______MPa（表压）。

6.真空检漏背景真空应达______Pa以下。

7.高纯管路常用密封垫材质是______（金属类）。

8.卤素检漏法检测含______元素的气体。

9.压力衰减法需记录初始压力、______和时间。

10.氦质谱检漏常用模式：真空吸嘴法和______法。

二、单项选择题（每题2分，共20分）

1.适用于微小泄漏（1e-8Pa·m3/s以下）的是（）

A.皂泡法B.氦质谱法C.卤素法D.压力衰减法

2.检漏前吹扫气体选（）

A.压缩空气B.高纯氮气C.氧气D.氢气

3.氦质谱检漏仪检测限可达（）

A.1e-6B.1e-8C.1e-10D.1e-12

4.皂泡法优点不包括（）

A.操作简单B.成本低C.定位泄漏点D.灵敏度高

5.压力衰减法泄漏判定：压力下降速率______（）

A.0.1%/hB.0.5%/hC.1%/hD.2%/h

6.真空检漏时检漏仪与管路（）

A.串联B.并联C.接大气D.接真空泵出口

7.卤素检漏仪不能检测（）

A.氟利昂B.四氯化碳C.氨气D.氯甲烷

8.高纯管路不选用的材质是（）

A.316L不锈钢B.铜C.碳钢D.镍

9.氦质谱喷吹法原理是（）

A.氦气从泄漏点进入检漏仪B.检漏仪喷氦气C.氦气反应D.氦气吸附

10.检漏后管路需（）

A.再次吹扫B.直接使用C.充高纯气体D.压力测试

三、多项选择题（每题2分，共20分）

1.检漏前检查项目（）

A.管路连接B.阀门关闭C.检漏仪校准D.吹扫完成

2.常用检漏方法（）

A.皂泡法B.氦质谱法C.卤素法D.压力衰减法

3.氦质谱仪校准参数（）

A.背景氦浓度B.泄漏率标准C.真空度D.温度

4.皂泡法注意事项（）

A.避免低温B.皂液浓度适中C.压力稳定D.可测真空

5.压力衰减法适用条件（）

A.容积已知B.压力稳定C.温度恒定D.泄漏点可见

6.高纯管路密封方式（）

A.卡套连接B.焊接C.法兰密封D.螺纹密封

7.卤素法缺点（）

A.灵敏度低B.污染环境C.检测范围窄D.操作复杂

8.真空检漏系统组成（）

A.真空泵B.检漏仪C.真空规D.接头

9.泄漏率影响因素（）

A.泄漏点大小B.管路压力C.气体种类D.温度

10.检漏安全要求（）

A.禁明火B.戴防护用品C.可燃气体管控D.设备检查

四、判断题（每题2分，共20分）

1.皂泡法适用于所有压力管路（）

2.氦质谱检漏无需抽真空（）

3.压力衰减法可测微小泄漏（1e-8Pa·m3/s）（）

4.卤素检漏仪对氨气敏感（）

5.检漏前必须吹扫管路（）

6.scc/s表示标准状态下每秒泄漏体积（）

7.真空背景越高，检漏灵敏度越高（）

8.皂泡法低温下失效（）

9.氦质谱检测限达1e-12Pa·m3/s（）

10.高纯管路密封垫需用金属垫（）

五、简答题（每题5分，共20分）

1.简述高纯气体管路检漏前的准备工作。

2.氦质谱检漏仪的基本工作原理是什么？

3.压力衰减法检漏的操作步骤有哪些？

4.皂泡检漏法的适用范围及注意事项？

六、讨论题（每题5分，共10分）

1.比较氦质谱检漏法与皂泡检漏法的优缺点。

2.高纯气体管路检漏中，如何判断泄漏点的位置及大小？

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答案部分

一、填空题答案

1.氦质谱2.质谱分析室3.高纯氮气4.scc/s5.0.16.1e-27.316L不锈钢垫（或铜垫）8.卤素（氟/氯）9.终止压力10.喷吹

二、单项选择题答案

1.B2.B3.D4.D5.C6.B7.C8.C9.A10.A

三、多项选择题答案

1.ABCD2.ABCD3.ABC4.ABC5.ABC6.ABC7.ABC8.ABCD9.ABCD10.ABCD

四、判断题答案

1.×2.×3.×4.×5.√6.√7.√8.√9.√10.√

五、简答题答案

1.①检查管路连接：确认法兰、卡套无松动；②吹扫：用高纯氮气吹扫30min以上，去除杂质；③校准检漏仪：氦质谱仪校准背景氦及泄漏率；④安全检查：禁明火、戴防护用品；⑤隔离非检测管路。

2.检漏仪电离氦气，通过质谱分析室分离（m/e=4），检测离子流强度，强度与泄漏率成正比，因氦气背景浓度低，灵敏度极高。

3.①封闭管路；②充高纯氮气（0.1-0.2MPa）；③稳定压力15min后记录P1、t1；④每15min记录P2、t2，共3次；⑤若衰减速率1%/h，判定泄漏。

4.适用：中低压（≤0.1MPa）、泄漏